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煙臺金鷹科技有限公司
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等離子體清洗機作為一種的干式清洗技術(shù)，具有綠色環(huán)保等特點，又叫等離子處理機；隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，等離子清洗機也在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來越多。
等離子處理機在清洗過程不產(chǎn)生任何污染，處理效果非常均勻穩(wěn)定?？商幚砀鞣N類型和形狀的產(chǎn)品，而且使用范圍廣泛，電腦玻璃蓋板，汽車，航天，塑膠，印刷包裝、電子類產(chǎn)品，醫(yī)療生物，紡織工業(yè)、復(fù)合材料、金屬材料及其它機械零配件局部和整體加工等表面清洗處理、刻蝕、活化等。
等離子清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用
等離子體清洗設(shè)備具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、效率高、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等,因此越來越受到人們重視。
