詳細(xì)介紹
名稱(Name) | 真空式等離子處理系統(tǒng) |
型號(hào)(Model) | CRF-VPO-2L-S |
控制系統(tǒng)(Control system) | PLC+觸摸屏 |
電源(Power supply) | 380V/AC,50/60Hz, 3kw |
中頻電源功率(RF Power) | 1000W/40KHz |
容量(Volume ) | 10L(Option) |
層數(shù)(Electrode of plies ) | 2(Option) |
腔體規(guī)格(Area) | 220(W)*230(D)*230(H) |
氣體通道(Gas) | 兩路工作氣體可選:Ar、N2、CF4、O2 |