本設(shè)備為兩室真空系統(tǒng)。其中一室為進樣取樣室，另一室為刻蝕室。進樣取樣室與刻蝕室之間裝有真空鎖，進樣取樣采用機械手運送。
本設(shè)備主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)，冷卻系統(tǒng)、送取片機構(gòu)、報警系統(tǒng)等組成。
ICP-5000型全自動電感耦合等離子體刻蝕機

詳細介紹

一．系統(tǒng)概述

▲總述

本設(shè)備為兩室真空系統(tǒng)。其中一室為進樣取樣室，另一室為刻蝕室。進樣取樣室與刻蝕室之間裝有真空鎖，進樣取樣采用機械手運送。

本設(shè)備主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)，冷卻系統(tǒng)、送取片機構(gòu)、報警系統(tǒng)等組成。

▲真空系統(tǒng)

本系統(tǒng)由一個抽速600升/秒分子泵+抽速9升/秒真空泵組成抽氣系統(tǒng), 將刻蝕室抽至高真空, 分子泵與刻蝕室之間裝有壓力調(diào)節(jié)閥電插板閥, 機械泵為刻蝕室予抽泵及分子泵前級泵。用另一個抽速9升/秒機械泵將進取樣室抽至真空狀態(tài)。機械泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼波紋管連接, 并裝有電磁氣動隔斷閥。

▲恒壓控制系統(tǒng)

本設(shè)備配有下游恒壓控制系統(tǒng)，在抽氣管路裝有一電動可調(diào)節(jié)閥，通過薄膜規(guī)測量（進口件），可調(diào)節(jié)閥控制，使真空室達到恒壓,從而提高工藝穩(wěn)定性。

▲射頻電源系統(tǒng)

采用射頻電源兩套，帶自動動匹配。

▲氣路系統(tǒng)

由4個質(zhì)量流量控制器控制4路氣體進氣。氣體管路均采用1/4英寸不銹鋼硬管，管路接頭連接形式采用雙卡套連接。質(zhì)量流量控制器采用*,氣路閥門、管路等采用進口件。

▲控制系統(tǒng)

采用工控機及PLC控制，通過觸摸屏設(shè)置參數(shù)及顯示測量值、狀態(tài)等，實現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過程自動化。本機可選擇全自動及非全自動模式。

▲報警系統(tǒng)：設(shè)備所需安全要求。

二. 主要技術(shù)指標(biāo)

1. 極限真空: 刻蝕室9.0×10^-5Pa (室內(nèi)濕度≤55%)

進樣取樣室6.0×10^-1Pa