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Wafer Bonder晶圓鍵合支撐晶圓進(jìn)行自動對準(zhǔn)

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更新時間：2020-06-15 14:46:00瀏覽次數(shù)：159次

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上海衡鵬實業(yè)有限公司

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聯(lián)系人：陳靜靜（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

加工定制	否

晶圓鍵合可自動完成晶圓鍵合（Wafer Bonder）工藝。
可選配晶圓鍵合后的在線檢測功能
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

詳細(xì)介紹

Wafer Bonder晶圓鍵合支撐晶圓進(jìn)行自動對準(zhǔn)

——Wafer Bonder應(yīng)用于晶圓臨時性鍵合/解鍵合工藝

Wafer Bonder晶圓鍵合的特點：

4”-8”/8”-12”晶圓適用，支持極薄化晶圓的鍵合。

可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式

晶圓鍵合智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。

Wafer Bonder支撐晶圓、產(chǎn)品晶圓進(jìn)行自動對準(zhǔn)

晶圓鍵合可自動完成晶圓鍵合（Wafer Bonder)工藝。

可選配晶圓鍵合后的在線檢測功能

工控機(jī)+Windows系統(tǒng)

SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

晶圓鍵合Wafer Bonder規(guī)格：

貼片機(jī) Wafer Bonder系列

鍵合晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”

支持體基板玻璃

鍵合裝置：真空熱壓/UV/激光定制

粘貼裝置搭載

晶圓盒形式兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料

其他 SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力

Wafer Bonder晶圓鍵合相關(guān)產(chǎn)品：

衡鵬供應(yīng)

超薄晶圓支持系統(tǒng)/超薄晶圓臨時鍵合/wafer debonding/wafer debonder

關(guān)鍵詞：工控機(jī)



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