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5軸機(jī)械臂5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂

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更新時(shí)間：2024-06-12 08:59:53瀏覽次數(shù)：74次

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5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTVCR5000系列實(shí)現(xiàn)了下降價(jià)格

詳細(xì)介紹

5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：

5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTVCR5000系列

實(shí)現(xiàn)了下降價(jià)格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機(jī)能，功能

能夠在真空環(huán)境下對(duì)應(yīng)并排擺放的腔室工作臺(tái)布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局

通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積

非常適合inline設(shè)備

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：280mm, 330mm

手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置

真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管

提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級(jí)過(guò)濾器

雙手指機(jī)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來(lái)保持位置

可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指

5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：