LX-70制冷循環(huán)器使用范圍：對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：?jiǎn)尉磧艮D(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。
| 型號(hào) | LX-10 | LX-25 | LX-40 | LX-70 | LX-10A | LX-145 | LX-20A | |
| 溫度范圍 | -25.0～40.0℃ | |||||||
| 溫控精度 | ±1℃ | |||||||
| 制冷量 | 20℃ | 1000W | 2500W | 4000W | 7000W | 10000W | 14500W | 20000W |
| 0℃ | 700W | 1500W | 2400W | 4000W | 7500W | 10000W | 15500W | |
| -20℃ | 300W | 550W | 800W | 1500W | 3500W | 5000W | 7300W | |
| 泵流量 | 20L/min 1.5bar | 50L/min 1.8bar | ||||||
| 安全保護(hù) | 具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能 | |||||||
| 冷卻方式 | 水冷或風(fēng)冷 | |||||||
| 溫度探頭 | PT100 控制外圍設(shè)備 | |||||||
| 加注冷媒 | R404A | |||||||
| 整機(jī)重量 | 75kg | 90kg | 110kg | 135kg | 165kg | 195kg | 240kg | |
| 電源 | AC 220/380V 50/60HZ | |||||||
環(huán)保在線