晶片清洗機(jī)適用于2寸--8寸晶片清洗，工藝過程：上料、去離子水超聲清洗、去離子水加熱清洗、去離子水清洗、下料。超聲清洗加熱清洗為單槽定時(shí)控制，到時(shí)給予結(jié)束提示音。結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：本設(shè)備為柜體式，設(shè)備操作門可分為：上下推拉門和折疊門并帶有透明窗。槽體材料為德國進(jìn)口PP板。超聲、加熱清洗時(shí)間由PLC控制。加熱槽裝有溫控表和傳感器。每個(gè)清洗槽互不影響。電控部分為正壓保護(hù)方式配有緊急停機(jī)及報(bào)警裝置。

詳細(xì)介紹

晶片清洗機(jī)

本設(shè)備適用于2寸--8寸晶片清洗，工藝過程：上料--去離子水超聲清洗--去離子水加熱清洗--去離子水清洗--下料。超聲清洗，加熱清洗為單槽定時(shí)控制，到時(shí)給予結(jié)束提示音。結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：本設(shè)備為柜體式，設(shè)備操作門可分為：上下推拉門和折疊門，并帶有透明窗。槽體材料為德國進(jìn)口PP板，外形美觀實(shí)用。設(shè)備超聲、加熱清洗時(shí)間由PLC控制。加熱槽裝有溫控表和傳感器。每個(gè)清洗槽互不影響，清洗槽的上下水由電磁閥控制。配有美國進(jìn)口氮?dú)?槍和水槍。電控部分為正壓保護(hù)方式，配有緊急停機(jī)及報(bào)警裝置。

關(guān)鍵詞：傳感器電磁閥

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