控制面板

• 蒸氣，ALD和氣體流量的所有參數(shù)都集成到一個(gè)移動(dòng)推車中，并由PLC通過(guò)6英寸觸摸屏進(jìn)行控制： 
  • 兩通道ALD閥
  • 對(duì)于通道MFC氣體輸送 
• 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖查看控制界面

ALD閥

• 兩個(gè)帶有脈沖控制器的ALD閥（持續(xù)時(shí)間至少10毫秒）
• 能夠用熱執(zhí)行器加熱

液體蒸氣發(fā)生器

• 包括自動(dòng)液體蒸氣發(fā)生器，并連接到ALD閥

旋轉(zhuǎn)爐

• 高1100ºC，可連續(xù)加熱
• 兩個(gè)可編程的精密數(shù)字溫度控制器，具有30個(gè)段。
• 輸入功率：208 – 240V AC輸入，大單相。4千瓦
• 轉(zhuǎn)速：0-10 RPM
• 4“石英管如下圖

          四個(gè)攪拌葉片                尺寸

防腐蝕壓力表

• 3.8x10 ^-5  至1125托測(cè)量范圍
• 防腐蝕，氣體類型獨(dú)立 
• 大氣中的高精度和可重復(fù)性，可實(shí)現(xiàn)可靠的大氣壓檢測(cè)
• 快速的大氣檢測(cè)消除了等待時(shí)間并縮短了處理周期
• 易于更換的即插即用傳感器元件
• 點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)規(guī)格。

真空泵 
（可選）

•  加工管內(nèi)可達(dá)到10E-2 Torr 真空
• 不包括真空泵，建議您通過(guò)單擊下面的圖片訂購(gòu)用于CVD工藝的干式泵
•       

• 單擊下面的圖片訂購(gòu)用于CVD的起泡器或蒸發(fā)器
• 可以增加  Quartz Crysta l和熱電偶  來(lái)監(jiān)控薄膜厚度和溫度，但需要額外付費(fèi)

保證

一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管，O形圈和加熱元件）

合規(guī)
    

• CE認(rèn)證

應(yīng)用筆記單擊此處以了解如何 使用氣體調(diào)節(jié)器

• 帶石英管的管式爐設(shè)計(jì)用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低壓 
• 甲ttention：必須在氣瓶安裝的兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器，以限制壓力低于3 PSI安全操作。 
• 氣體的流量應(yīng)限制為<200 SCCM（或200 ml / min），以減少對(duì)管子的熱沖擊
• 所有石英管爐的真空極限定義：*真空壓力只能在高1000°C的溫度下安全使用

應(yīng)用

• 使用ALD可以顯著降低石榴石電解質(zhì)和電極材料之間的高固-固界面阻抗。