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產(chǎn)地	進(jìn)口	冷卻方式	水冷式
儀器種類	分體式

日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K

我們專為半導(dǎo)體加工而設(shè)計(jì)的最高容量冷水機(jī)組
3，000 或 5，000 瓦的冷卻能力
±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性
兩種泵選項(xiàng)，流量高達(dá) 10 gpm，壓力高達(dá) 100+ psig
減少晶圓間的變化，消除晶圓效應(yīng)
比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%
采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護(hù)成本低
模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)

消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
等離子蝕刻、等離子灰分、計(jì)量、CMP 和其他工藝的解決方案

規(guī)格

工作范圍：

-10°C 至 80°C

環(huán)境溫度：

10°C 至 40°C 無冷凝

穩(wěn)定性/可重復(fù)性：

恒定負(fù)載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時(shí)）

制冷量*：

尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 設(shè)施用水）尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 設(shè)施用水）

冷卻液/工藝流體：

針對(duì)氟惰性/高登或HFE流體進(jìn)行設(shè)置
提供可選的乙二醇/水配置

工藝流體接頭：

3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

泵：

磁耦合渦輪機(jī)（高功率或高功率）

流量：

高達(dá) 10 加侖/分鐘（38 升/分鐘），流量和
壓力可調(diào)（10 至 100 psig）

油箱容積：

10 升（2.6 加侖），帶 2 個(gè)液位傳感器

設(shè)施用水：

25 升/分鐘（6 加侖/分鐘）@ 7-25°C 過濾，處理過的循環(huán)設(shè)施冷卻水，pH 6.5 至 8.2

設(shè)施水配件：

3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

N2/CDA（必需）：

500 sccm -30°C 露點(diǎn)或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作

接液材料：

工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設(shè)施
：密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
和不銹鋼

尺寸（寬 x 深 x 高）：

22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）

重量：

~300 磅（136 千克）干

電源輸入：

200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A

斷路器：

20/30 安培 480 VAC 3 極，帶 GFCI

遠(yuǎn)程EMO：

外部干接點(diǎn)

通信：

泛林，應(yīng)用材料公司， RS232，其他

警報(bào)：

溫度、液位、系統(tǒng)或組件
故障（顯示、干接點(diǎn)和機(jī)器接口）

標(biāo)準(zhǔn)：

半 S2-0200，符合 F47 標(biāo)準(zhǔn)，CE

保證：

2 年

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