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當(dāng)前位置：四方光電股份有限公司>>微型紅外氣體傳感器>>微型紅外CO2>> 四氟化硅傳感器
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌四方光電
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地武漢市
更新時(shí)間：2024-09-04 16:38:43瀏覽次數(shù)：414次
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| 加工定制 | 是 | 輸出信號 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 制作工藝 | 其他 | 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 | 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點(diǎn)監(jiān)測。
四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
四氟化硅傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
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