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天津瑞利光電科技有限公司


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ELIONIX電子束光刻系統(tǒng)ELS-HAYATE

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產(chǎn)品型號ELS-HAYATE

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式：瑞麗查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-05-01 09:06:23瀏覽次數(shù)：125次

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商鋪產(chǎn)品：1081條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：瑞麗 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細圖案分辨率的大型制造寫入場。

性能特點
  • 可實現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制
  • 實現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉。因為可以統(tǒng)一繪制的區(qū)域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應用程序。此外，由于樣品表面內(nèi)的載物臺移動次數(shù)也減少，高吞吐量的微細加工也能起到作用。
  • 采用大電流電子光學系統(tǒng)
  • 配備高電流電子光學系統(tǒng)，可以實現(xiàn)超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級的圖案，現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。
  • 400MHz生產(chǎn)用高速掃描時鐘
  • 當在高電流下進行光刻時，須將光斑間距設置得較寬，以平衡小劑量時間和良好劑量。
技術參數(shù)
  • 產(chǎn)地：日本
  • 加速電壓：50 kV
  • 束流：1 nA～800 nA
  • 最小光束直徑：D 10 nm
  • 標準場尺寸：5000μm
  • 最小/字段大?。?/li>
  • 最小1000μm
  • 5000μm
  • 掃描時鐘：400MHz
  • 最小發(fā)射間距：最小1.0nm
  • 樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓
  • 曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
  • 加載機制：
  • 單臺自動裝載機
  • 多功能自動裝載機
  • 機器人裝載機
產(chǎn)品參數(shù)

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