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鍍層測(cè)厚儀FT110

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深圳市譜賽斯科技有限公司

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微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高通過(guò)縮小與樣品間的距離等，致使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。

詳細(xì)介紹

1.即放即測(cè)！
2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量！
3.可無(wú)標(biāo)樣測(cè)量！
4.通過(guò)樣品整體圖像更方便選擇測(cè)量位置！

通過(guò)自動(dòng)定位功能提高操作性
測(cè)量樣品時(shí)，以往需花費(fèi)約10秒的樣品對(duì)焦，現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成，大大提高樣品定位的操作性。
微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高
通過(guò)縮小與樣品間的距離等，致使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。
多達(dá)5層的多鍍層測(cè)量
使用薄膜FP法軟件，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測(cè)量。
廣域觀察系統(tǒng)（選配）
可從250×200mm的樣品整體圖像測(cè)量位置。
對(duì)應(yīng)大型印刷線路板（選配）
可對(duì)600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測(cè)量。
低價(jià)位
與以往機(jī)型相比，既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。

型號(hào)	FT110A
測(cè)量元素	原子序號(hào)Ti（22）～Bi（83）
X射線源	空冷式小型X射線管管電壓：50（可變更）kV 管電流：10～1000µA
檢測(cè)器	比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器	○型： 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ　他2種
樣品觀察	CCD攝像頭
對(duì)焦	激光對(duì)焦（自動(dòng)）
濾波器	一次濾波器（自動(dòng)切換）
樣品區(qū)域	[固定]535×530 mm [電動(dòng)] 260×210 mm (移動(dòng)量X:250 mm, Y:200 mm)
測(cè)量軟件	薄膜FP法（2層、10種元素）、檢量線法
安全功能	樣品室門(mén)聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能