污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過(guò)濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過(guò)濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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更新時(shí)間:2022-08-15 15:12:06瀏覽次數(shù):192次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線機(jī)臺(tái)用途: 機(jī)臺(tái)用來(lái)完成對(duì)外延石英鐘罩的清洗;工件進(jìn)行內(nèi)部腐蝕清洗并干燥,外部進(jìn)行水洗。適用鐘罩型號(hào):3061;630/680
※ 機(jī)臺(tái)名稱:外延鐘罩清洗機(jī)。
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式。
※ 機(jī)臺(tái)數(shù)量:一臺(tái)。
※ 機(jī)臺(tái)重量:1000Kg(預(yù)估值)。
※ 清洗能力:客戶提供圖紙及詳細(xì)參數(shù),1 Pcs/cassette。
※ 清洗方式: 濕法噴淋+噴(烘)干。
※ 機(jī)臺(tái)封面:使用德國(guó)ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 主要結(jié)構(gòu)材質(zhì):使用德國(guó)ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 機(jī)臺(tái)視窗:使用德國(guó)ROCHLING品牌透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度5mm) 。
※ 機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu):整體40*40碳鋼金屬結(jié)構(gòu)骨架。
※ 防漏盤:配有分體式聚丙烯磁白PP板材防漏盤。
※ 排風(fēng)系統(tǒng):排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì),為了排風(fēng)效果達(dá)到,排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板,為了方便操作人員根據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量,操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到使用效果。
※ 機(jī)臺(tái)操作面板設(shè)有EMO急停按鈕;排放口配有可拆卸過(guò)濾網(wǎng)裝置,防止碎硅渣進(jìn)入下水管道系統(tǒng);具有漏電斷路保護(hù)裝置,電氣箱內(nèi)部通入壓縮空氣作為正壓保護(hù)。
※ 安全互鎖裝置: 裝有工件感應(yīng)器,只有感應(yīng)到工件后才允許開(kāi)始清洗工藝。
※ 腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性。
※ 可根據(jù)需要定時(shí)定量補(bǔ)充槽體藥液。
※ 工藝參數(shù)(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào))手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定。
※ 全程自動(dòng)化控制,工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性;
※ 清洗流程:首先人工手動(dòng)將石英鐘罩放入清洗立式活動(dòng)腔體定位區(qū)域內(nèi),通過(guò)人工目測(cè)確認(rèn)后手動(dòng)將石英鐘罩位置檢測(cè)探頭定位鎖緊(與安全監(jiān)測(cè)裝置互鎖);檢查水、電、氣正常,活動(dòng)門(雙層)封閉,然后啟動(dòng)按鈕→進(jìn)入一次DIW清洗程序→一般廢水主排放管路→進(jìn)入稀酸洗程序→自動(dòng)噴稀混酸(石英鐘罩內(nèi)壁)→自動(dòng)卸酸排放至廢酸管路→進(jìn)入二次DIW清洗程序→一般廢水主排放管路→進(jìn)入濃酸洗程序→自動(dòng)噴濃混酸(石英鐘罩內(nèi)壁)→自動(dòng)卸酸排放至稀酸儲(chǔ)液箱→進(jìn)入三次DIW清洗程序→石英鐘罩內(nèi)壁DIW噴淋清洗(同時(shí)排水閥打開(kāi))→報(bào)警→HOT氮?dú)鈨?nèi)外壁吹干→合格報(bào)警→人工將石英鐘罩取出清洗機(jī),完成整個(gè)清洗工作。
※ 特點(diǎn)&優(yōu)點(diǎn)
*視窗為雙層設(shè)計(jì),操作安全 *設(shè)備占地面積?。?.9㎡)
*噴淋裝置噴淋均勻 *N2加熱材料高純無(wú)污染,in-line加熱
*封壓裝置動(dòng)作平穩(wěn),密封性強(qiáng),耐腐蝕,多重檢測(cè) *溫度自動(dòng)校準(zhǔn)
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全 *清洗能力是傳統(tǒng)設(shè)備的2倍
※ 廠務(wù)需求規(guī)范數(shù)據(jù)
1 | 電源 | AC380VA±10(五線制)50Hz±1% 10KW(預(yù)估值)控制回路DC24V(符合大陸規(guī)定) |
2 | DI水壓力 | 0.35~0.45Mpa 管徑:DN40*1 PVDF材質(zhì)管路; |
3 | CDA氣源壓力 | 0.45~0.7Mpa 管徑: Rc3/8—3/4*1 插管式接頭+PFA管路; |
4 | N2氣源壓力 | 0.3~0.45Mpa 管徑: Rc3/8—3/4*1 插管式接頭+PFA管路; |
5 | 溫度 | 23±1℃; |
6 | 濕度 | 53±5%; |
7 | 一般排水口 | DN50*2 PVDF材質(zhì)管路; |
8 | 廢液排放口徑 | DN50*2 PVDF材質(zhì)管路; |
9 | 排氣 | ¢200mm*2 500-800m3/h*2(預(yù)估值可以根據(jù)廠務(wù)要求調(diào)整); |
10 | 設(shè)備后房維修空間尺寸 | 500mm—800mm; |
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主營(yíng)產(chǎn)品:全自動(dòng)清洗機(jī),爐管清洗機(jī),鐘罩清洗機(jī),硅片清洗機(jī),CDS自動(dòng)供液系統(tǒng),SiC清洗機(jī),SC-1清洗機(jī),cassette清洗機(jī),SPM清洗機(jī),RCA清洗機(jī),BOE清洗機(jī),實(shí)驗(yàn)臺(tái),通風(fēng)櫥,藥品柜。
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