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詳細(xì)摘要： edi超純水系統(tǒng)：液晶面板生產(chǎn)大約百分之五十以上工序中硅片與超純水有直接接觸，有八分之八十以上工序需要進(jìn)行化學(xué)處理，水質(zhì)不純將直接影響產(chǎn)品部件性能。