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硅壓阻式充油壓力芯體(擴(kuò)散硅壓力傳感器)技術(shù)特點(diǎn)

閱讀:503      發(fā)布時(shí)間:2022-9-19
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硅壓阻式充油壓力芯體是制造壓力傳感器與變送器的核心芯體,作為一種高性能的敏感元件,可以很方便地進(jìn)行信號放大處理,裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出的變送器,廣泛地用于石油、化工、冶金、電力、電子系統(tǒng)、航天航空、醫(yī)療、化工、汽車、機(jī)電設(shè)備等行業(yè)的過程控制。

硅壓阻式充油壓力芯體

 

硅壓阻式充油芯體(擴(kuò)散硅壓力傳感器)技術(shù)特點(diǎn):

1、靈敏度高

擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低,輸出信號大,且無機(jī)械動件損耗,因而分辨率。

2、精度高

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體,無機(jī)械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好,形變小,因而傳感器的線性也非常好,因此綜合表態(tài)精度很高。

3、可靠性高

擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級,膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級,且無機(jī)械磨損、無疲勞、無老化。平均時(shí)間長,性能穩(wěn)定,可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì),使傳感器頻率響應(yīng)很高,使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步,擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高,原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、 計(jì)算機(jī)自動修整技術(shù)所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/°C數(shù)量級,工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用,在強(qiáng)磁場、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。

7、耐腐蝕性好

由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好,即使傳感器受壓面不隔離,也能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時(shí)結(jié)構(gòu)工藝更易于實(shí)現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點(diǎn),可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品,具有*良的性能價(jià)格比。

 

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