懷寧縣香料香精廢氣處理常州天之尚環(huán)?？萍加邢薰经h(huán)保高科技企業(yè),專(zhuān)門(mén)從事環(huán)保新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品的研究開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)制造、技術(shù)咨詢、調(diào)試運(yùn)行、運(yùn)行管理、售后跟蹤等服務(wù)。

光電產(chǎn)品制造

5.4.1 產(chǎn)污環(huán)節(jié)與現(xiàn)狀

在光電產(chǎn)品制造行業(yè)中，產(chǎn)生廢氣污染的主要有五類(lèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程：半導(dǎo)體集成電路、

TFT-LCD 、 LED 、印制電路板（    PCB）、電子終端產(chǎn)品。

（ 1）半導(dǎo)體集成電路

半導(dǎo)體制造工藝中    VOCs 主要來(lái)源于光刻、顯影工序，在這些工序中要用有機(jī)溶液（如異丙

醇）對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來(lái)源之一。同時(shí)，在光刻過(guò)程中使用

的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢

氣也要揮發(fā)到大氣中，是    VOCs 產(chǎn)生的又一來(lái)源。

（ 2） TFT-LCD

包括檢查和測(cè)試在內(nèi)，    TFT-LCD    的制造生產(chǎn)工藝可達(dá)到    100 多道工序，生產(chǎn)過(guò)程中使用多

種化學(xué)有機(jī)溶劑和特殊氣體，產(chǎn)生的    VOCs 量大，組分復(fù)雜。    TFT 液晶面板生產(chǎn)排放    VOCs 污染

物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻（涂膠、曝光和顯影）    ，

以及彩膜工程中的黑色矩陣    BM  膜制造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍(lán)，    RGB）、保護(hù)膜生成、

MVA 膜、 PS（PHoto Spacer）膜生成是產(chǎn)生 VOCs 的主要工藝。同時(shí)，在成盒工程中清洗工序使用的有機(jī)溶劑揮發(fā)也會(huì)產(chǎn)生少量的 VOCs 。TFT-LCD 的制造過(guò)程中產(chǎn)生的 VOCs 主要是以異丙醇

為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部    VOCs

量的 90%以上。

（ 4）印制電路板（  PCB）            
在單面、雙面和多面印制電路板制作工藝中，產(chǎn)生的    VOCs 工藝環(huán)節(jié)相對(duì)較集中，主要來(lái)源
于貼膜、烘干、沉銅、印刷等工序，    VOCs 排放種類(lèi)主要有甲醛、醇類(lèi)（乙醇、異丙醇、丁醇、
丙醇）、酮類(lèi)（丁酮） 、酯類(lèi)（乙酸乙酯、乙酸丁酯）    、甲苯、二甲苯等。同時(shí)，在有機(jī)溶劑的貯
存過(guò)程中也會(huì)有部分    VOCs 產(chǎn)生和排放。        
（5）電子終端產(chǎn)品            
在電子終端產(chǎn)品制造中，   VOCs 的主要來(lái)源包括電路板清洗劑有機(jī)廢氣（使用有機(jī)溶劑型清
洗劑）、電路板三防噴漆廢氣、機(jī)殼（機(jī)箱）噴漆廢氣、機(jī)殼注塑廢氣。這些廢氣均來(lái)自工位上
的局部排風(fēng)系統(tǒng)，特點(diǎn)是排風(fēng)量大、濃度低。        
電子終端產(chǎn)品制造業(yè)可能產(chǎn)生的污染源、產(chǎn)生污染物的工序和主要污染物
5.4.2 末端治理技術(shù)

（ 1）半導(dǎo)體集成電路、    TFT-LCD  和 LED 廢氣治理技術(shù)

半導(dǎo)體集成電路、    TFT-LCD  和 LED 三類(lèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)中所產(chǎn)生的廢氣的情況大致相同，除了

VOCs  以外，還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有體，風(fēng)量大、濃度低。一般采用水吸收    +

沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮    -高溫焚燒的組合技術(shù)進(jìn)行治理。

*步通過(guò)水吸收（吸收塔）可以去除廢氣中的酸性氣體、堿性氣體和有體。在有些情

況下，酸性氣體、堿性氣體和集中單獨(dú)排放，不含有機(jī)物或有機(jī)物的濃度很低，只通過(guò)

水吸收工藝即可，無(wú)需加裝吸附設(shè)備。如    TFT-LCD  的刻蝕工藝廢氣治理。

第二步沸石轉(zhuǎn)輪（轉(zhuǎn)筒）吸附濃縮    +高溫焚燒，對(duì)去除了酸性氣體、堿性氣體

低濃度有機(jī)廢氣通過(guò)沸石轉(zhuǎn)輪（轉(zhuǎn)筒）吸附濃縮后進(jìn)行高溫焚燒凈化。該技術(shù)目前在國(guó)外已經(jīng)被

普遍采用，特別是在中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)大量的液晶顯示器（    TFT-LCD ）的生產(chǎn)企業(yè)中均采用的是該技術(shù)。

該技術(shù)凈化效率高（可達(dá)    95%以上）、運(yùn)行穩(wěn)定、安全性好，目前在電子生產(chǎn)行業(yè)廢氣治理中尚

無(wú)更好的技術(shù)能夠取代。