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上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司
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設計功能吸附濃縮IC、光電產業(yè)生產過程中，黃光區(qū)內光阻涂布等制程工藝揮發(fā)的有機物，并輸送至后序有機排氣系統(tǒng)集中處理
設計功能
吸附濃縮IC、光電產業(yè)生產過程中，黃光區(qū)內光阻涂布等制程工藝揮發(fā)的有機物，并輸送至后序有機排氣系統(tǒng)集中處理。避免VOCs在潔凈間環(huán)境內積聚，影響產品良品率。適用于含PGMEA、PGME、IPA、環(huán)己酮等為主的有機揮發(fā)性氣體。恒溫恒濕潔凈環(huán)境，處理效率≥98%。
工藝原理
集成過濾器、沸石轉輪與電加熱器。沸石吸附濃縮潔凈間廢氣中VOCs成分，經電加熱器加熱脫附，恢復吸附能力，持續(xù)吸脫附。經沸石濃縮的VOCs進入下一步工序。
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