ENTEGRIS流量控制器InVue6550
Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計。
產(chǎn)品名稱:ENTEGRIS流量控制器InVue6550
產(chǎn)品型號:InVue6550
產(chǎn)品介紹:
Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計。 IFC 6550 型設(shè)計的流速為 60、90 或 120 L/min,非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和的閉環(huán)過程控制。 視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報狀況提供診斷,使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。
ENTEGRIS流量控制器InVue6550 性能特點:
●使用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和的閉環(huán)過程控制
●視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報狀況提供診斷
●集成壓力傳感器提供額外的過程信息
●使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過驗證的測量和控制
●堅固的設(shè)計提供穩(wěn)定性和長期可靠性
●設(shè)計為 60、90 或 120 L/min流速
參數(shù):
●流量控制精度:滿刻度的±1%(使用去離子水在23°C[73°]下校準(zhǔn))
●重復(fù)性:滿量程的±0.5%
●壓力測量輸出:0–689 kPa(0-100 psig)
●壓力精度:滿量程的±1%
●工作壓力:
103–552千帕(15–80磅/平方英寸)(60升/分鐘,90升/分鐘)
172–552千帕(25–80磅/平方英寸)(120升/分鐘)
●輸出信號:兩個4–20 mA電隔離輸出,一個用于流量,另一個用于壓力
●響應(yīng)時間:
≥15磅/平方英寸(60升/分鐘,90升/分鐘)時<3秒
≥25磅/平方英寸(120升/分鐘)時<3秒
●非操作超壓限值:827 kPa(120 psig)
●工藝溫度:10–65°C(50–149°F)
●電氣輸入:1.2安培時為24 VDC(±10%)
●設(shè)定值輸入信號:4–20 mA,0–10 VDC
●外殼:IP54
●重量:3.2千克(7磅)
●產(chǎn)地:美國