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上海納騰儀器有限公司
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更新時(shí)間：2022-08-03 13:42:16瀏覽次數(shù)：3459次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線Cascade Microtech 的 EP6測(cè)量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái)，解決了一系列的測(cè)量難題。該探針臺(tái)采用了一種模塊化設(shè)計(jì)，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測(cè)量的需要。
基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面積 Z軸可移動(dòng)范圍
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm
多功能平臺(tái) 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2
X-Y-θ平臺(tái) XY范圍 zui小步長(zhǎng) θ范圍 晶圓范圍
真空運(yùn)行平臺(tái) 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 155mm x 155mm 2μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 250mm
快速運(yùn)行平臺(tái) 155mm x 155mm 1μm +45°（CCW） , - 90°（CW） 275mm
DUT支架 卡盤 基底 平整度 三軸接頭 絕緣層 附加卡盤
150mm卡盤 150mm真空卡盤 晶圓，陶瓷 ＜10μm Yes ＞100GΩ 2個(gè)獨(dú)立的卡盤，且還有一個(gè)附加卡盤
PCB 150mm寬支架 PCB，移動(dòng)裝置 NA NA NA NA
顯微鏡支架 移動(dòng)范圍（XY） Z方向 zui小步長(zhǎng)
臂式支架 ＞150mm x 150mm NA NA
LAHS顯微鏡支架 150mm x 150mm 可選，zui大為100mm 2μm
1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能；
2. 平臺(tái)配置可滿足DC、RF和亞微米測(cè)量；
3. *的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí)；
4. 量程大、可配探針配件；
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