三維光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀
ContourX-1000
布魯克Bruker ContourX-1000 落地式三維光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀 （WLI） 可以輕松快速地完成高質(zhì)量的三維表面紋理和粗糙度測(cè)量。設(shè)備的計(jì)量系統(tǒng)融合了超過(guò)三十年的創(chuàng)新研發(fā)和布魯克的專(zhuān)有軟件和技術(shù)，具備更的性能、更高的效率和可重復(fù)性以及更便捷的測(cè)量流程。
全新的一鍵式尋找表面(Advanced Find Surface ™)功能結(jié)合了自動(dòng)聚焦和自動(dòng)照明功能，無(wú)需每次測(cè)量前手動(dòng)查找樣品表面，大幅提升了用戶(hù)體驗(yàn)，縮短了測(cè)量時(shí)間。結(jié)合自適應(yīng)測(cè)量模式 USI和簡(jiǎn)潔的引導(dǎo)式 VisionXpress™操作界面，ContourX-1000 幾乎能夠在任何表面，任何操作人員，甚至多用戶(hù)高負(fù)荷的生產(chǎn)設(shè)備下提供高質(zhì)量的精確測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 可傾斜/俯仰光學(xué)頭、雙光源和的自動(dòng)化功能，提供快速、靈活的生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)測(cè)量。
· 自校準(zhǔn)激光和集成的防震臺(tái)，確保更高的測(cè)量準(zhǔn)確性和可靠性。
· 提供的測(cè)量和分析軟件帶有簡(jiǎn)潔且有引導(dǎo)性的程序和模式，更大程度的方便用戶(hù)使用。
創(chuàng)新的硬件設(shè)計(jì)
ContourX-1000 三維輪廓儀集成有 Bruker 的傾斜/俯仰光學(xué)頭，的雙光源、自動(dòng)化的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)和樣品臺(tái)，以及可選配的晶圓卡盤(pán)。這些創(chuàng)新可為幾乎所有的在研發(fā)和生產(chǎn)中的應(yīng)用提供快速且有效的解決方案，包括有難度的表面和深溝槽結(jié)構(gòu)。
ContourX-1000配備了專(zhuān)屬的內(nèi)部參考激光和防震臺(tái)以獲取更好的穩(wěn)定性和與其他工具的匹配能力。即使在嘈雜的環(huán)境中，該系統(tǒng)也能確保設(shè)備能完成精準(zhǔn)的測(cè)量工作。
強(qiáng)大的自動(dòng)測(cè)量分析功能
ContourX-1000具有易于操作的功能和的自動(dòng)化生產(chǎn)界面，允許系統(tǒng)在更少的人工干預(yù)下快速收集高質(zhì)量的檢測(cè)結(jié)果報(bào)告，有效減少由于操作人員不同或操作設(shè)置不同而導(dǎo)致的數(shù)據(jù)采集和分析的結(jié)果偏差。
自動(dòng)功能包括：
· 自動(dòng)測(cè)量和分析方案
· 自動(dòng)對(duì)焦和自動(dòng)照明功能，一鍵式搜索表面
· 自適應(yīng)USI測(cè)量模式，自動(dòng)確定合適的測(cè)量參數(shù)
· 提供引導(dǎo)的VisionXpress界面
· 自動(dòng)模式對(duì)齊
· 自動(dòng)強(qiáng)度調(diào)整，自動(dòng)保存，自動(dòng)拼接等
Vision64 - 儀器控制和分析軟件
ContourX-1000 由 Vision64® 軟件提供支持，該軟件是業(yè)界內(nèi)的一款功能強(qiáng)大、用戶(hù)友好的圖形用戶(hù)界面。這款功能齊全的軟件包括：
查找圖面：查找表面功能使任何用戶(hù)都能獲得高質(zhì)量的結(jié)果，無(wú)論操作員的經(jīng)驗(yàn)水平如何，即使在多用戶(hù)環(huán)境中也是如此。它不僅可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦，還可以調(diào)整關(guān)鍵照明參數(shù)，如 LED 環(huán)形燈的強(qiáng)度。這允許設(shè)備能夠在各種材料表面上進(jìn)行完整的計(jì)量，改善用戶(hù)體驗(yàn)，易于操作，并縮短獲得結(jié)果的時(shí)間。
VisionXpress：VisionXpress™ 的界面使用簡(jiǎn)單，適用于多用戶(hù)環(huán)境的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試庫(kù)，在功能齊全的Vision64 界面（用于設(shè)置和自動(dòng)分析）以及用于自動(dòng)化（更少的人工干預(yù)）的生產(chǎn)界面之間，您可以自由的選擇更適合需求的解決方案。
通用掃描干涉測(cè)量：USI模式的自適應(yīng)表面智能可自動(dòng)調(diào)整算法參數(shù)，在同一視場(chǎng)內(nèi)的不同表面紋理上獲得更優(yōu)的結(jié)果，即使在對(duì)比度、強(qiáng)度和高度不同的表面上也是如此。這種自動(dòng)檢測(cè)表面類(lèi)型并提供精確計(jì)量的能力使其成為簡(jiǎn)單且可靠的測(cè)量方法之一，適用于幾乎任何表面，從透明到不透明，垂直范圍高達(dá) 120 μm。
應(yīng)用案例
ContourX-1000 將的硬件和軟件集成結(jié)合在一起，能夠?qū)Ω鞣N應(yīng)用和行業(yè)（包括關(guān)鍵尺寸計(jì)量等）的各種表面進(jìn)行高精度、量具能力的定量 3D 表面表征。
1、改進(jìn)如元件等的制造工藝
通過(guò)測(cè)量表面粗糙度參數(shù)，準(zhǔn)確評(píng)估和衡量一些零部件的復(fù)雜表面紋理，幫助改進(jìn)表面光潔度工藝。
2、新型材料的研究和大規(guī)模制造
為新型材料的研究和大規(guī)模制造提供快速、準(zhǔn)確的平均表面粗糙度評(píng)估
3、半導(dǎo)體表面表征
用于半導(dǎo)體材料和器件納米級(jí)表面表征的高性能測(cè)量解決方案
4、更多應(yīng)用
· 高縱橫比MEMS器件結(jié)構(gòu)
· 工業(yè)高分子薄膜
· 高密度凸起互連
· 拼接測(cè)量得到的雙焦隱形眼鏡形貌
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