導(dǎo)讀：無(wú)塵室之應(yīng)用范圍極廣，一般而言，使用無(wú)塵室之產(chǎn)業(yè)或制造程序都與高科技有關(guān)，例如半導(dǎo)體組件生產(chǎn)、高精度機(jī)械加工、微機(jī)械制造，以及生化制藥等。無(wú)塵室完工后，由具公信力之單位進(jìn)行測(cè)試以認(rèn)定其性能表現(xiàn)，稱為無(wú)塵室認(rèn)證。本文說明無(wú)塵室認(rèn)證時(shí)所遵循之測(cè)試規(guī)范，無(wú)塵室定義與測(cè)試常用3種規(guī)范，1、Fed-Std-209E、2、IES-RP-CC006.2、3、Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms進(jìn)行詳細(xì)介紹。
潔凈室（無(wú)塵室）可視為一個(gè)嚴(yán)格控制環(huán)境的場(chǎng)所，舉凡潔凈度、溫濕度、風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等都在管制范圍之內(nèi)。無(wú)塵室之應(yīng)用范圍極廣，一般而言，使用無(wú)塵室之產(chǎn)業(yè)或制造程序都與高科技有關(guān)，例如半導(dǎo)體組件生產(chǎn)、高精度機(jī)械加工、微機(jī)械制造，以及生化制藥等。而無(wú)塵室之性能，直接影響制造品質(zhì)之良窳。因此任何無(wú)塵室在施工完畢后，都需經(jīng)過詳細(xì)的測(cè)試以驗(yàn)證其性能合于要求；并且在使用中也必須做定期測(cè)試與不定期抽測(cè)以確保性能。
無(wú)塵室之性能測(cè)試，需遵循化之標(biāo)準(zhǔn)與測(cè)試規(guī)范，使不同單位之測(cè)試程序一致，測(cè)試之結(jié)果具商公信力。無(wú)塵室完工后，由具公信力之單位進(jìn)行測(cè)試以認(rèn)定其性能表現(xiàn)，稱為無(wú)塵室認(rèn)證（Cleanroom Certification本文說明無(wú)塵室認(rèn)證時(shí)所遵循之測(cè)試規(guī)范，無(wú)塵室定義與測(cè)試常用3種規(guī)范，1、Fed-Std-209E、2、IES-RP-CC006.2、3、Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms進(jìn)行詳細(xì)介紹。
無(wú)塵室之定義與測(cè)試，工業(yè)界常用的規(guī)范有三種，分別是美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)第209-E號(hào)，美國(guó)環(huán)境科學(xué)學(xué)會(huì)無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范 IES-RP-CCO06.2，及美國(guó)國(guó)家環(huán)境平衡局之無(wú)塵室認(rèn)證程序規(guī)范Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms，以下分別說明。
2-1美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)Fed-Std-209E
在1950年代，美國(guó)對(duì)潔凈空氣之定義仍是眾說紛紜，軍方、產(chǎn)業(yè)界、學(xué)術(shù)研究單位等都個(gè)有規(guī)格，并不統(tǒng)一。到1957年蘇聯(lián)發(fā)射人造衛(wèi)星，使美國(guó)人認(rèn)真考慮統(tǒng)一潔凈空氣定義統(tǒng)一必要。1961年Sandia Corp.成功開發(fā)層流型無(wú)塵室，加上同一期間伊利諾技術(shù)研究所將光散射式微粒計(jì)數(shù)器商品化，使美國(guó)人認(rèn)為時(shí)機(jī)成熟，遂于1962年由軍力、產(chǎn)業(yè)界、學(xué)術(shù)研究單位等推派代表開會(huì)，開始討論規(guī)格之制訂。于1963年8月，潔凈空氣規(guī)格草案被送到規(guī)格協(xié)會(huì)開始制定規(guī)格，于1963年12月，聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)Fed-Std-209正式發(fā)表，美國(guó)的潔凈空氣定義完成統(tǒng)一，同時(shí)確立無(wú)塵室之運(yùn)轉(zhuǎn)原則。
Fed-Std-209于1963年初次發(fā)表后，隨著科學(xué)不斷進(jìn)步與產(chǎn)業(yè)技術(shù)之日新月異，也不斷出現(xiàn)修訂版。1966年發(fā)表Fed-Std-209A，是為*次改版，給予無(wú)塵室Class100，10,000，100,000等三個(gè)等級(jí)之分類。1973年發(fā)表Fed-Std-209B，將氣流及相對(duì)濕度修正。1977年發(fā)表Fed-Std-209B之修正版，增加Class1,000。1987年發(fā)表Fed-Std-2O9C，增加Class 1與Class 1O0，并修改測(cè)試方法。1988年發(fā)表Fed-Std-209D，修改上一版印刷上之錯(cuò)誤。1992年發(fā)表Fed-Std-209E，這是的版本。該版本增加了公制的無(wú)塵室規(guī)格，于等級(jí)前加一M字母來代表。在公制中，追加比英制Class 1更高之Class M1，和比Class100,000更低之Class M7。
Fed-Std-209E內(nèi)容包括無(wú)塵室等級(jí)，微粒測(cè)試之儀器，微粒測(cè)試方式，數(shù)據(jù)分析方式。并對(duì)氣流方式、氣流速度、壓力、溫濕度、振動(dòng)噪音、換氣量等名詞及參數(shù)分別提出其定義或是建議值。Fed-Std-209E現(xiàn)已成為上廣被接受之無(wú)塵室設(shè)計(jì)、測(cè)試之共同標(biāo)準(zhǔn)，以下摘錄幾個(gè)重要的定義。
1.層流型無(wú)產(chǎn)室：氣流在無(wú)塵室內(nèi)以水平層流或垂直層流方式移動(dòng)。
2.非層流型無(wú)塵室：氣流在無(wú)塵室內(nèi)不以層流方式移動(dòng)，以往稱亂流型無(wú)塵室。
3.混合型無(wú)塵室：氣流在無(wú)塵室部份區(qū)域內(nèi)以層流方式移動(dòng)，其它區(qū)域以亂流方式移動(dòng)。
4.As-built：已完工無(wú)塵室，但尚無(wú)人員與機(jī)械進(jìn)入。
5.At-rest：已完工無(wú)塵室，機(jī)械已移入且可以操作或已在運(yùn)轉(zhuǎn)，但尚無(wú)人員進(jìn)入。
6.Operational：已正常運(yùn)轉(zhuǎn)之無(wú)塵室。
Fed-Std-209E對(duì)無(wú)塵室設(shè)計(jì)、潔凈度之定義、微粒量測(cè)等項(xiàng)目有詳細(xì)之說明，但是對(duì)于所有其它與無(wú)塵室性能有關(guān)之項(xiàng)目，如氣流與溫濕度等之測(cè)試則無(wú)規(guī)范。因此測(cè)試氣流及溫濕度時(shí)，需要其它的測(cè)試規(guī)范來補(bǔ)充。
2-2美國(guó)環(huán)境科學(xué)學(xué)會(huì)無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范IES-RP-CC006.2美國(guó)環(huán)境科學(xué)學(xué)會(huì)（Institute of Environmental Sciences）之污染控制組（Contamination Control Division），針對(duì)無(wú)塵室之測(cè)試，訂定了一套無(wú)塵室測(cè)試規(guī)范，編號(hào)是Recommended Practice 006.2，名稱是Testing Cleanrooms，簡(jiǎn)稱IES-RP-CC006.2，是除了Fed-Std-209E之外，廣為業(yè)界接受之測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。
本規(guī)范內(nèi)容非常詳細(xì)，除了未規(guī)范靜電含量與導(dǎo)電度外，已包含所有之測(cè)試，可滿足大部份之無(wú)塵室測(cè)試需求。因此所有的無(wú)塵室測(cè)試，都會(huì)要求其測(cè)試方式遵守本規(guī)范。
2-3 美國(guó)國(guó)家環(huán)境平衡局無(wú)塵室認(rèn)證程序規(guī)范 NEBB
IES-RP-CC006.2對(duì)測(cè)試儀器及其校正并無(wú)說明，因此還需采用美國(guó)國(guó)家環(huán)境平衡局無(wú)塵室認(rèn)證程序規(guī)范，補(bǔ)充規(guī)定測(cè)試儀器及其校正，下一節(jié)將說明該規(guī)范。
美國(guó)國(guó)家環(huán)境平衡局（National Environmental Balancing Bureau,NEBB）針對(duì)與環(huán)境有關(guān)的主題，發(fā)展出一系列之標(biāo)準(zhǔn)。其中與無(wú)塵室有關(guān)的，包括無(wú)塵室之空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整，振動(dòng)噪音控制，無(wú)塵室認(rèn)證測(cè)試程序規(guī)范（Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms）等，這些都是產(chǎn)業(yè)界共同遵循的規(guī)范。本文針對(duì)無(wú)塵室認(rèn)證，將無(wú)塵室認(rèn)證測(cè)試程序規(guī)范之內(nèi)容做一說明，目前版本是1996年發(fā)表之第二版。
NEBB的無(wú)塵室認(rèn)證測(cè)試程序規(guī)范，在測(cè)試項(xiàng)目與方法方面，與環(huán)境科學(xué)學(xué)曾的IES-RP-CC006.2相同，并加上靜電含量與導(dǎo)電度。本規(guī)范尚規(guī)定了允許使用的測(cè)試儀器，儀器之校正方式與期限，測(cè)試數(shù)據(jù)之分析方式，測(cè)試報(bào)告之建議格式，及對(duì)無(wú)塵室允收標(biāo)準(zhǔn)之建議。
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