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德國普發(fā)四級質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號PrismaPlus

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更新時間：2022-08-02 11:04:40瀏覽次數(shù)：1916次

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產(chǎn)品簡介

德國普發(fā) pfeiffer PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智能化操作的*結(jié)合是 PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設(shè)計和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。

詳細(xì)介紹

四極質(zhì)譜儀 PrismaPlus^TM新的高性能質(zhì)譜儀

1.設(shè)計緊湊

PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智能化操作的*結(jié)合是 PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設(shè)計和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。

2.應(yīng)用范圍廣闊

通過可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測器、離子源和界面接口等，該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀是從質(zhì)量保證，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的*方案。

3.檢測速度快，靈敏度高

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀可以在三個不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規(guī)，PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀就可以作為一個精確的全壓監(jiān)控器使用。

4.智能化的軟件

Quadera 軟件不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試數(shù)據(jù)以及參數(shù)記錄的易讀平臺。結(jié)合多種可供選擇的界面接口，例如以太網(wǎng)，數(shù)字式和模擬式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點鼠標(biāo)就可以激活預(yù)設(shè)的功能。

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢：

1. 模塊化設(shè)計提供了產(chǎn)品的適應(yīng)性

2. 結(jié)構(gòu)緊湊，性能出眾

3. 多種界面接口，系統(tǒng)集成簡單

4. 可通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)化

5. 測試過程快速穩(wěn)定，解析度高

6. 分析器以及電子的可替換性

7. 雙燈絲設(shè)計保證zui大的可靠性

8. zui低的可檢測分壓達(dá)1 x 10E-14 mbar

9. Quadera®軟件操作直觀

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀應(yīng)用領(lǐng)域：

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀非常適合于檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析：
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導(dǎo)體生產(chǎn) 6. 玻璃鍍膜 7. 研發(fā) 8. 真空工藝

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀產(chǎn)品規(guī)格：

PrismaPlus^TM型號		QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3
質(zhì)量數(shù)范圍	amu	1-100	1-200	1-300
四極桿直徑／長度	mm	6/100	6/100	6/100
檢測極限，zui小	mbar	1.10^-12	2.10^-12	4.10^-12
對Ar的靈敏度	A/mbar	1.10^-3	6.10^-4	3.10^-4
工作壓力，zui大	mbar	1.10^-4	1.10^-4	1.10^-4
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響	ppm	<10	<20	<50
工作溫度／分析器	^。C	150	150	150
連接法蘭		DN 40 CF-F	DN 40 CF-F	DN 40 CF-F
重量	kg	2.4	2.4	2.4

PrismaPlus^TM 四極質(zhì)譜儀產(chǎn)品規(guī)格

PrismaPlus^TM型號			QMG 220 M1	QMG 220 M2	QMG 220 M3
質(zhì)量數(shù)范圍	amu		1-100	1-200	1-300
四極桿直徑／長度	mm		6/100	6/100	6/100
檢測極限，zui小	mbar	法拉第	5.10^-12	1.10^-11	2.10^-11
		C-SEM	1.10^-14	2.10^-14	4.10^-14
對Ar的靈敏度	A/mbar	法拉第	5.10^-4	3.10^-4	1.5.10^-4
		C-SEM	200	200	100
工作壓力，zui大	mbar	法拉第	1.10^-4	1.10^-4	1.10^-4
		C-SEM	1.10^-5	1.10^-5	1.10^-5
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響	ppm		<10	<20	<50
工作溫度／分析器	^。C		150	150	150
連接法蘭			DN 40 CF-F	DN 40 CF-F	DN 40 CF-F
重量	kg		3.8	3.8	3.8