污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
邁可諾技術有限公司
產(chǎn)品型號EM-KLEEN
品 牌其他品牌
廠商性質代理商
所 在 地上海市
聯(lián)系方式:趙先生查看聯(lián)系方式
更新時間:2022-10-14 09:28:52瀏覽次數(shù):637次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線等離子源真空接口 | NW/KF40 法蘭 |
---|
遠程等離子清潔的原理
遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發(fā)等離子體,分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基,活性基會擴散到下游的真空腔室,并與其中的污染物發(fā)生化學反應,反應產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠程等離子清洗機可同時清潔真空系統(tǒng)和樣品。
技術特點:
快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。不需減速或關閉渦輪分子泵
低等離子偏壓設計減少離子濺射和顆粒生成。結合多級氣體過濾技術,SEMI-KLEEN能夠滿足用戶苛刻的顆粒污染清除要求
可選藍寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應用
*的等離子強度傳感器可實時監(jiān)測等離子狀態(tài),用戶對等離子狀態(tài)一目了然
基于壓力傳感回饋控制的自動電子流量控制器,無需手動調節(jié)針閥
直觀的觸摸屏操作,可定義60條清洗程序方案
擁有智能安全操作模式和專家控制模式;SmartScheduleTM定時裝置,通過檢測樣品裝載次數(shù)或時間間隔來定時清潔系統(tǒng)
技術指標
1. 等離子源真空接口:NW/KF40 法蘭; 提供轉接法蘭;
2. 標配等離子強度傳感器;
3. 等離子源低點火起輝氣壓:<0.1毫托;
4. 等離子源Z高工作氣壓:>1.0 托;
5. 漏氣率:<0.005sccm;
6. 射頻輸出:0~100瓦,連續(xù)可調節(jié);
7. 具有射頻自動匹配功能
8. 電源和功率:220V, 50Hz,
產(chǎn)品相關關鍵字: 等離子清洗儀 SEMI-KLEEN 掃描電鏡等離子清洗 透射電鏡等離子清洗 等離子清洗機 |
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環(huán)保在線 設計制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
請輸入你感興趣的產(chǎn)品
請簡單描述您的需求
請選擇省份
聯(lián)系方式
邁可諾技術有限公司