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美國(guó)PIE等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:30瀏覽次數(shù)：1061次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

功率	標(biāo)配75W版本，可選150W版本；

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

詳細(xì)介紹

1、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

2、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz；

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。

3、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測(cè)器實(shí)時(shí)測(cè)量等離子源強(qiáng)度。

2）外置電極設(shè)計(jì)，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

4、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來(lái)快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字：基本型等離子擴(kuò)展型等離子清洗機(jī) 等離子體表面處理 Plasma Cleaner 等離子清洗機(jī)系統(tǒng)

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量計(jì) 等離子清洗機(jī)

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