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PIE等離子清洗機

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產(chǎn)品型號Tergeo-Plus

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更新時間：2022-07-22 14:15:30瀏覽次數(shù)：1023次

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產(chǎn)品簡介

頻射	13.56MHz高頻射頻

1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；

2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作；

3、標配75W版本，可選150W版本；

4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。

詳細介紹

二、Tergeo系列等離子清洗機的特點

1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；

2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作；

3、標配75W版本，可選150W版本；

4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。

三、技術(shù)參數(shù)

1、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。

2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。

2、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：5.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：160毫米，深度：280毫米。

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz；

2）射頻功率：標配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。

4、等離子源

1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2）外置電極設(shè)計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字：基本型等離子清洗機擴展型等離子清洗機等離子表面處理儀等離子表面處理系統(tǒng) 臺式等離子清洗機

關(guān)鍵詞：等離子清洗機質(zhì)量流量計

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