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半導體失效分析是確保半導體器件可靠性和性能的關鍵技術,它通過對失效半導體芯片的深入分析,確定其失效的根本原因。失效可能由多種因素引起,包括材料缺陷、設計不足、工藝問題、環(huán)境因素或操作失誤。失效分析不僅有助于工藝的不斷改進和優(yōu)化,修復芯片設計中的缺陷,還為故障診斷提供了關鍵的證據支持。它為生產測試環(huán)節(jié)提供了重要的補充,確保了產品質量和可靠性。
半導體失效分析-質量鑒定-司法鑒定
半導體失效分類
1.斷裂失效:
應力腐蝕:材料在應力和腐蝕環(huán)境共同作用下發(fā)生的斷裂。
高溫應力斷裂:材料在高溫和應力長期作用下發(fā)生的斷裂。
疲勞斷裂:材料在反復應力作用下發(fā)生的斷裂。
2.非斷裂失效:
磨損失效:由于摩擦導致的材料表面磨損。
腐蝕失效:材料在化學或電化學作用下發(fā)生的損壞。
變形失效:材料在外力作用下發(fā)生的不可逆形變。
3.復合失效機理:
多種失效機理綜合作用,如應力腐蝕和疲勞斷裂的共同作用導致的失效。
中科檢測的半導體失效分析服務
中科檢測憑借其專業(yè)的技術團隊和CMA資質認證,為客戶提供全面的半導體失效分析服務,以下是一些具體的失效現象和分析方法:
1.開路:
EOS(電氣過應力):由于電壓或電流超過器件承受范圍導致的損壞。
ESD(靜電放電):靜電放電造成的器件損壞。
電遷移:電流導致的金屬遷移,引起線路斷裂。
應力遷移:金屬互連線的應力引起的斷裂。
腐蝕:化學腐蝕導致的金屬線路斷裂。
鍵合點脫落:鍵合點因機械或熱應力而脫落。
機械應力:外力導致的器件結構損壞。
熱變應力:溫度變化引起的應力導致器件損壞。
2.短路:
PN結缺陷:PN結區(qū)域的缺陷導致的短路。
PN結穿釘:PN結區(qū)域的穿透性缺陷。
介質擊穿:絕緣材料因電應力而失效。
金屬遷移:金屬原子遷移導致的短路。
3.參漂:
氧化層電荷:氧化層中的電荷變化影響器件性能。
表面離子:表面吸附的離子影響器件的電性能。
芯片裂紋:芯片內部的裂紋導致性能下降。
熱載流子:熱載流子效應導致的器件參數變化。
輻射損傷:輻射導致的器件性能退化。
4.功能失效:
EOS、ESD:如實例一中的浪涌損壞,導致整流橋功能失效。
中科檢測的半導體失效分析服務,不僅能夠幫助客戶找出問題的根源,還能夠提供改進建議,從而提高產品的可靠性和市場競爭力。
半導體失效分析-質量鑒定-司法鑒定
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