無塵車間工程是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)療器械、生物制藥、手術(shù)室、化學(xué)、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，特別是以微電子、化學(xué)、為代表的行業(yè)，對于室內(nèi)環(huán)境的要求*。室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是制約工業(yè)生產(chǎn)，特別是高科技生產(chǎn)能否進行的關(guān)鍵因素之一。那么常見的無塵車間類型有哪幾種呢？一起來了解一下。
一、無塵車間層流式
此種方式是根據(jù)空氣氣流運動成均勻的直線型，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于無塵車間等級需定較高的環(huán)境使用，一般其無塵車間等級為Class1——100。
其型式可分為二種：
1.垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高的潔凈度，在生產(chǎn)過程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
2.水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
二、無塵車間亂流式
此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間，并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于無塵車間等級1000-100000級。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，無塵車間的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求的潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
三、無塵車間復(fù)合式
此種方式是將亂流式及層流式合并使用，可提供局部超潔凈的空氣。
1.裝局部無塵車間：將廣州無塵車間等級10000——100000的亂流無塵車間內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)潔凈度等級提高為10——1000級以上，以便滿足生產(chǎn)條件；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
2.凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
3.凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此類型需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：①彈性擴充容易；②維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
