一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

石墨舟裝片房是用于太陽(yáng)能行業(yè)與PECVD承載車(chē)配套、裝取硅片、配制中效及高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣達(dá)到凈化要求。

二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
    1. 能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車(chē)定位。
    2. 能夠使用石墨舟承載車(chē)在里面傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度。
    3. 配置經(jīng)中效、高效過(guò)濾器過(guò)濾后的凈化空氣根據(jù)要求定時(shí)向機(jī)內(nèi)循環(huán)吹風(fēng)。
    4.過(guò)濾效率99.99%0.3um ISO5級(jí) (class100級(jí))
    技術(shù)要求：
    1. 整個(gè)冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個(gè)設(shè)備堅(jiān)固可靠。
    2. 風(fēng)機(jī)兩臺(tái)，風(fēng)量1000m3/hX2。
    3. 配置中效及高效過(guò)濾器，確保吹出空氣達(dá)到凈化要求。
    4. 為達(dá)到節(jié)電效果，必須安裝自控裝置，當(dāng)小車(chē)進(jìn)入裝載房后自動(dòng)啟動(dòng)吹風(fēng)，冷卻到規(guī)定時(shí)間或小車(chē)離開(kāi)也能自動(dòng)停止吹風(fēng)。
    5. 為防止被小車(chē)撞擊后移動(dòng)，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。