ANT95-L系列納米平移臺

1.實現(xiàn)大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性

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ANT95-XY系列雙軸納米平移臺

1.結(jié)構(gòu)緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實現(xiàn)大行程納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
4.1納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性

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-L-Z系列納米垂直平移臺

1.大行程實現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性

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-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺

1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.的跳動指標(biāo)
4.的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)