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鄭州科佳電爐有限公司


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四路高溫真空CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S60K-4C

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-01 17:49:11瀏覽次數(shù):174次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹:KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1200度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì),可以對(duì)多種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:


KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,溫度可以達(dá)到1200度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì),可以對(duì)多種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/m。為取得加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

 

應(yīng)用范圍:

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。


規(guī)格參數(shù):

產(chǎn)品名稱四路高溫真空CVD設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S60K-4C
工作溫度1100°C
溫度1200°C
加熱速率建議:0- 10°C/min     {:0-20℃/min}
加熱區(qū)三溫區(qū)
加熱區(qū)長(zhǎng)度200+350+200mm
控溫精度±1°C
爐管直徑OD60mm
爐管長(zhǎng)度大約1200mm-1400mm
真空法蘭兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì),和閥門通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr,泄漏率6 mtorr/min
溫控智能PID多段程序控溫
加熱曲線30段可編程
功率4KW
電壓220V,50HZ,單相
質(zhì)子流量計(jì)4路精密質(zhì)子流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。
MFC 1范圍:  0~100 sccm
MFC 2范圍:  0~200 sccm
MFC 3范圍:  0~200 sccm
MFC 4范圍:  0~500 sccm
氣路:4路
流量精度: 0.2%
進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
一個(gè)混氣罐。
每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。 
通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。
 


 


標(biāo)準(zhǔn)配件:

 

質(zhì)子混氣系統(tǒng)1臺(tái)、雙旋機(jī)械泵1臺(tái)、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對(duì)、高溫手套1副、剛玉坩堝2個(gè)、氫氣檢漏器1個(gè)、說(shuō)明書1份



注:坩堝可按用戶需求選配合適的款型
 

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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