真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)，按結(jié)構(gòu)分類，可分為機械式真空泵，噴射式真空泵，吸著式真空泵。
 

　　機械式真空泵的種類很多,且屬于輸送氣的機械,其動力性能、結(jié)構(gòu)強度等均與壓縮機有許多類似之處。
 

　　(一)往復(fù)式真空泵
 

　　往復(fù)真空泵是最古老的結(jié)構(gòu)形式,其結(jié)構(gòu)堅固、運行可靠、對水分不敏感,極限壓力為(1~2.6)kPa,抽速范圍為(50-600)L/S,主要用于大型粗真空系統(tǒng),如真空干燥、真空過濾、真空濃縮、真空蒸餾、真空結(jié)晶以及其他氣體抽除等。往復(fù)真空泵不適于抽除含塵或腐蝕性氣體,除非經(jīng)過特殊處理。
 

　　往復(fù)真空泵由氣缸、活塞組成的工作腔部分與由曲軸、連桿、十字頭、活塞桿等傳動部分構(gòu)成?？刂茪怏w吸進與排出氣缸的閥門有自動閥與強制閥兩種。
 

　　(二)油封回轉(zhuǎn)式真空泵
 

　　油封回轉(zhuǎn)式真空泵可直接用作抽氣也可作為其他主泵的前級泵,極限壓力為6×10-4Pa,抽速0.5-150L/S。
 

　　油封回轉(zhuǎn)式真空泵主要有旋片式、定片式、滑閥式等三種結(jié)構(gòu)型式，其特點是:用油使泵體與排氣系統(tǒng)隔開,可防止排出氣體向泵內(nèi)回(故稱為油封式)，泵內(nèi)必須設(shè)置油分離裝置,以分離排氣時帶走的潤滑油;一般情況下仍難以將油蒸汽*清除所以對真空系統(tǒng)和周圍環(huán)境會造成油污染。
 

　　(三)液環(huán)式真空泵
 

　　液環(huán)式真空泵在煉油化工生產(chǎn)中經(jīng)常使用,是利用葉輪旋轉(zhuǎn)時形成液環(huán)與葉片間容積周期性變化而抽吸氣體。液環(huán)式真空泵也稱納氏泵,因為大多數(shù)場合用水作為工作液體故常稱為水環(huán)式真空泵。其結(jié)構(gòu)簡單，工作可靠，可抽吸含固體微粒、水或易燃、易爆的氣體根據(jù)氣體性質(zhì)采用合適的工作液體也可用抽吸腐蝕性氣體。當用水為工作液體時,不會污染環(huán)境與真空系統(tǒng)，單級極限壓力為104pa,雙級可達103pa,抽速達500L/S。其缺點是液力損失大、效率低,水力效率約為50%~70%。
 

　　(四)羅茨真空泵
 

　　羅茨真空泵,兩個8字形的轉(zhuǎn)子以相同反方向旋轉(zhuǎn),氣體自入口被帶至出口。羅茨真空泵的抽速范圍為(30~3)×104/s，一級極限壓力約為1~10Pa，且在1~102pa壓力范圍內(nèi)具有較大的穩(wěn)定抽速，故又稱為快速真空泵;羅茨真空泵常作為噴射泵與油擴散泵的前級泵起增壓作用,故又稱為機械增壓泵。
 

　　羅茨真空泵轉(zhuǎn)子葉型間隙：小型為0.1~0.2mm,大型為0.2~0.4mm，因此對氣體中含有塵埃、纖維，水分等不敏感，但不適宜抽吸有腐蝕性或易燃、易爆氣體。羅茨泵工作腔內(nèi)無摩擦零件，無需油進行潤滑，不會出現(xiàn)油污染。
 

　　當壓力比高時，其排氣溫度可能很高，因此需用水進行冷卻，冷卻水管設(shè)在泵的排氣口。