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公司動態(tài)

美國MKS控制應(yīng)用技術(shù)(上海)有限公司

點(diǎn)擊次數(shù):9637 發(fā)布時(shí)間:2013-2-25

美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年,作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商,在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處,美*機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù),延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù),其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。上海MKS經(jīng)銷專業(yè)供應(yīng)美國MKS流量計(jì) 美國MKS薄膜真空計(jì) 美國MKS傳感器 美國MKS流量控制閥 美國MKS壓力開關(guān)代表型號:AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513.....

閥門

MKS是一家的高可靠性,高精度不銹鋼真空隔離閥和壓力控制閥。MKS系列真空隔離閥,波紋管和球閥,手動,氣動和電動氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)閥門在加熱或不加熱的角度和內(nèi)嵌的配置,安全切斷閥和軟啟動閥。我們的壓力控制閥生產(chǎn)線包括擺,蝴蝶,葉片和閥芯節(jié)流閥集成控制子系統(tǒng)。

壓力/真空測量的Baratron®直接壓力/真空電容壓力計(jì) HPS®真空傳感器,儀表,傳感器和控制器

MKS是壓力和真空測量領(lǐng)域的。在的MKS家庭的壓力和真空測量儀器的Baratron®電容壓力表,壓力傳感器,壓力開關(guān),壓力控制子系統(tǒng),真空壓力表,真空壓力傳感器,真空壓力表控制器。

殘余氣體分析/質(zhì)譜法RGA原位過程監(jiān)測,泄漏檢測與分析

RGA在原位過程監(jiān)測

MKS 質(zhì)譜氣體分析儀產(chǎn)品創(chuàng)新的原位過程監(jiān)測儀器*集成的,應(yīng)用程序特定的軟件包,包括成分的殘留氣體分析儀(個(gè)RGAs),網(wǎng)絡(luò)功能的RGA的分析設(shè)備和工藝的RGAs和控制軟件。

  • 真空監(jiān)測和電子診斷
  • 超高真空(UHV)
  • CVD過程
  • 真空基線RGA
  • 離子注入
  • 光致抗蝕劑檢測
  • 高壓RGA
  • PVD
  • 蝕刻
  • 擴(kuò)散
  • 轉(zhuǎn)移室監(jiān)控
  • 泄漏檢測
  • 大氣壓力氣體分析

FTIR,NDIR紅外氣體分析儀器

FTIR(傅立葉變換紅外)和NDIR(非色散紅外)實(shí)時(shí)的時(shí)間和在線氣體分析儀器從MKS儀器能夠?yàn)槎鄠€(gè)氣體種類,包括NF 3,NH 3,H 2,NO和N 2個(gè)ppb到ppm靈敏度O和高達(dá)30%的水與氣體。

 

GLM™-2000 少數(shù)載流子壽命監(jiān)視器真穩(wěn)態(tài)少數(shù)載流子的壽命(Gtau),光導(dǎo)率的上升和衰減及薄膜電阻
 

照片 -  GLM-2000少子壽命監(jiān)控器 - 點(diǎn)擊看大圖
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GLM™-2000少數(shù)載流子壽命監(jiān)控器是一種精密儀器,采用了的變壓器耦合光電導(dǎo)方法,同時(shí)測量真穩(wěn)態(tài)少數(shù)載流子的壽命(Gtau測量),光導(dǎo)率的上升和下降及薄膜電阻。這需要現(xiàn)有的業(yè)界*的計(jì)量方法,并結(jié)合高速電子固態(tài)照明技術(shù),噪聲抑制,以及強(qiáng)大的的食譜驅(qū)動軟件是一個(gè)工具,操作方便,簡單易懂,和可重復(fù)的結(jié)果導(dǎo)致。

用于晶體硅光伏電池的硅的質(zhì)量有直接的影響的質(zhì)量,或轉(zhuǎn)換效率,(太陽能電池)的zui終產(chǎn)品。我們的目標(biāo)是盡可能多的入射能量,或載體轉(zhuǎn)移,電路的輸出或細(xì)胞。做到這一點(diǎn),在一部分中,通過zui小化任何重組的載體。電信運(yùn)營商重組,當(dāng)他們接觸過的缺陷或雜質(zhì)的硅。重組時(shí)間從細(xì)胞的電勢輸出電流。

少數(shù)載流子壽命測量,是一種定量評估的基礎(chǔ)硅的質(zhì)量,因?yàn)檩^低的少數(shù)載流子壽命是在硅中的雜質(zhì)和缺陷的跡象。此外,測量薄層電阻和光電導(dǎo)衰減(PCD)進(jìn)一步提供對表面復(fù)合的影響的信息,并作為切割檢查通過ARC沉積的光伏電池的制造過程中的質(zhì)量從。

控制系統(tǒng),工業(yè)自動化控制器,嵌入式Analytics(分析),I / O,網(wǎng)關(guān),緊湊型PCI網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視器,工業(yè)以太網(wǎng),以太網(wǎng)/ IP和DeviceNet,Profibus,Modbus總線,EtherCAT中,CAN,Linux的,HSMS,SECS,接口

新的特色產(chǎn)品:ECM2控制平臺

先鋒產(chǎn)業(yè)平臺,控制,通信協(xié)議和網(wǎng)關(guān)技術(shù),MKS的關(guān)鍵組成部分和經(jīng)驗(yàn),為分布式控制和過程監(jiān)控為我們的客戶提供的技術(shù),個(gè)性化他們的具體要求。此外,商業(yè)“現(xiàn)成的”產(chǎn)品使我們的客戶能夠快速部署的解決方案,通過易于使用的平臺。

MKS Instruments公司的控制和自動化產(chǎn)品團(tuán)隊(duì)可以幫助您定義,設(shè)計(jì)和制造下一代控制器。我們專注于提供的高密度混合I / O以zui快的現(xiàn)場總線網(wǎng)絡(luò)技術(shù)相結(jié)合,為您帶來一個(gè)控制器,這將節(jié)省您的成本比當(dāng)前解決方案,將大大減少你的時(shí)間,市場。

現(xiàn)場總線

以太網(wǎng)現(xiàn)場總線控制器連接到您的網(wǎng)絡(luò)正在改變。EtherCAT技術(shù)的DeviceNet™,以太網(wǎng)/ IP™,PROFIBUS,MODBUS-TCP,可以打開網(wǎng)絡(luò)所支持的MKS Instruments公司的成套控制產(chǎn)品。

混合高密度I / O

MKS Instruments公司的控制產(chǎn)品包含混合I / O,讓您以在市場上每點(diǎn)的高密度。高分辨率和高度的模擬和數(shù)字I / O,加干觸點(diǎn)繼電器和溫度的I / O控制器建立一個(gè)靈活的環(huán)境,你所需要的具體規(guī)格。

嵌入式邏輯

MKS Instruments公司的產(chǎn)品支持PLC IEC61131-3標(biāo)準(zhǔn),以及MKS'的自己cLogic®嵌入式應(yīng)用程序。這些平臺讓你寫你的梯形圖,功能塊圖,結(jié)構(gòu)化文本和ANSI C控制算法,同時(shí)給你zui大的靈活性和功能。我們的應(yīng)用工程師寫的一些常見用途的范例程式碼(PID,PWM,計(jì)數(shù)器等),所以你不必。

RTOS和Linux操作系統(tǒng)

MKS Instruments公司的控制和自動化產(chǎn)品套件可與實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)(RTOS)和Linux操作系統(tǒng)平臺。

 

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