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廣州市白云區(qū)富鑫空氣過(guò)濾設(shè)備廠


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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:30條

所在地區(qū):廣東廣州市

聯(lián)系人:楊守亞QQ1306820457 (經(jīng)理)

技術(shù)文章

空氣過(guò)濾器在微電子工業(yè)中的應(yīng)用

閱讀:567發(fā)布時(shí)間:2013-7-10

電腦中每天鉆進(jìn)無(wú)數(shù)灰塵,只可惜電腦沒(méi)有裝過(guò)濾器,如果以后電腦中也裝上過(guò)濾除塵器就好了。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接影響壽力空壓機(jī)配件產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也zui苛刻。

衡 量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”,即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計(jì)算線寬的年代,人們說(shuō)制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年,普通微機(jī)中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm,此時(shí)任何粉塵都可能損 害電路,粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過(guò)時(shí)了。
 
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”,車間的整個(gè)天花板上布滿過(guò)濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板?,F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置, 即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度,只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異?!?
不論是普通過(guò)濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過(guò)逐臺(tái)掃描 測(cè)試。國(guó)內(nèi)目前沒(méi)有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn),能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行掃描測(cè)試的。芯片廠的人認(rèn)為,過(guò)濾器傳統(tǒng) 檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買(mǎi)鈉焰法和DOP法的帳?! ?
       
    空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大, 普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢(qián)就是 了。
20 世紀(jì)90年代初,國(guó)外曾對(duì)過(guò)濾器玻纖濾紙的含硼問(wèn)題爭(zhēng)吵了一陣,隨后,過(guò)濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。近幾年,國(guó)外出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維 過(guò)濾材料,這種材料沒(méi)有揮發(fā)物,但它是帶靜電的“駐極體”,少了個(gè)隱患,多了個(gè)麻煩,過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離 子。目前這種材料的價(jià)格偏高,大部分過(guò)濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘結(jié)劑和清洗劑,為芯片廠供貨的過(guò)濾器廠商要在這上 面下些功夫。
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