一個理想的真空系統(tǒng)或者真空容器，應(yīng)當(dāng)是不存在任何漏孔，更不會產(chǎn)生任何漏氣現(xiàn)象的。但是，就任何真空系統(tǒng)或真空閥來說，不漏的現(xiàn)象是不可能的。特別是在壓力極低的情況下，隨著漏氣現(xiàn)象的影響不斷加劇，真空度達不到預(yù)定的工藝要求，是一個相當(dāng)普遍的問題。因此，在檢測真空閥或真空系統(tǒng)存在的漏氣部位、確定漏孔的大小、堵塞漏孔從而消除漏氣現(xiàn)象，就成為真空技術(shù)工作者的一項重要工作。
所謂漏氣或稱實漏，它是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從高壓側(cè)流向低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。真空閥檢漏技術(shù)中的一些常用基本概念有九點。
其一稱為虛漏，它是相對于實漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象大都是由于材料的放氣、解吸、凝解氣體的再蒸發(fā)或真空系統(tǒng)內(nèi)存在死空間中氣體的流出等原因而引起真空系統(tǒng)或真空閥中壓力升高檢漏的一種現(xiàn)象。真空閥檢漏的時候需要排除虛漏的影響。氣密性表征著真空系統(tǒng)或容器的壁對空氣不渴沉頭程度的一種可能。其三是漏孔，所謂的真空閥漏孔是指真空容器上存在形狀不定、極其微小的孔洞或間隙。大氣通過這種小孔或間隙進入真空系統(tǒng)或容器中。第四點是真空漏率，即為真空閥漏氣速率，它代表在的單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器內(nèi)的氣體量。其五是采用某種檢漏方法或真空儀器可能檢測出來的zui小漏率。還有檢漏靈敏度，或者可稱之為有效靈敏度。對于它的相應(yīng)時間來說，從真空閥檢漏方法開始實施到指示方法或真空儀器指示值上升到其zui大值的63%時所需要的時間。而消除時間是指從檢漏方法停止到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%所需時間。zui后就是由灰塵或液體所造成的漏孔堵塞，這些堵塞常常是指由于檢漏作業(yè)操作不當(dāng)而導(dǎo)致發(fā)生的一種暫時現(xiàn)象，真空閥檢漏時似乎不漏氣，但一經(jīng)排氣又會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象，我們把它稱為漏孔的堵塞現(xiàn)象。
