產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質量流量和壓力
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
技術指標
介質要求 潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可
介質種類 內置了128種氣體,請參考背面氣體兼容表一臺設備內置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量量程程 從-0.5SCCM~0.5SCCM 到-5000SLPM~5000SLPM
量程比比 100:1
顯示流量 -99%FS~99%FS
顯示屏屏 帶按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精精度度 ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精高度 ±(0.4%RD + 0.2%FS),選配僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復復性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ℃/ Atm
響應時間 100ms(可調) 預熱時間:<1s
標定工況 25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa、絕壓0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度 -10 ~ +50 ℃
工作濕度 0-99%,無冷凝
標準工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出 質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ~ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材材質質 316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)
可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
* 如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需咨詢我們
選項配件
1