產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 可測范圍廣，1～99%滿量程

● 響應時間快，優(yōu)于10 ms

● 內置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了130種氣體，請參考背面

                  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測量范圍    1～99%滿量程

顯示流量    128 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

                  ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（可選），僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度    流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

零點和量程漂移    0.02% 滿量程 / ℃ / Atm

響應時間    優(yōu)于10 ms

預熱時間    ＜1 s

標定工況    25 ℃ & 1 Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～99%，無冷凝

工作壓力    1 MPa  表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用； 其他真空壓力建議做特殊標定

進出口壓差    0.5 MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS-232/RS-485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓    7-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）

供電電流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       質    316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM（Kalrez)，可根據特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

選項配件