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半導(dǎo)體器件設(shè)備-片盒清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2022-07-15 15:49:14瀏覽次數(shù)：410次

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北京某有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：13條

所在地區(qū)：北京

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體清洗設(shè)備、液晶清洗設(shè)備、太陽能清洗設(shè)備

詳細(xì)介紹

1.設(shè)備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機(jī)械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。

2.清洗槽部分由有機(jī)溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。

3.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，包括氣動(dòng)閥，PFA管道、全氟循環(huán)系統(tǒng)，保證工作介質(zhì)（酸、堿）的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。

4.工藝過程全自動(dòng)，機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制，可存儲(chǔ)多條工藝時(shí)序，方便使用。

5.人機(jī)界面為觸摸屏，方便直觀。

6.除裝片和取片需人工外，其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完成，適用連續(xù)批量生產(chǎn)。

7.工作區(qū)設(shè)凈化裝置，內(nèi)置高效過濾器，滿足工作區(qū)凈化要求（1000—100級，10級為特制）。

8.界面中有故障報(bào)警，安全保護(hù)，工藝時(shí)序號(hào)等功能。

三、主要指標(biāo)：

1.全自動(dòng)形式。

2.外形尺寸3100×1400×2500（長×寬×高）

3.適用硅片：4

4.裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）

5.工作區(qū)潔凈度：100級

6.槽間工藝轉(zhuǎn)換時(shí)間：Tmax≤3.5s