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EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀

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產(chǎn)品型號(hào)EMS 650/EMS 650T

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:楊陽查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-07-22 10:49:53瀏覽次數(shù):604次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:156條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:楊陽 (主管)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀

詳細(xì)介紹

 

又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀,EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶(用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材);面板式控制,*的人性化設(shè)計(jì);濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置,包括控制排氣的電磁閥(自動(dòng)控制),可以獲得精確的可重復(fù)的鍍膜厚度;濺射頭互鎖,EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用;EMS 650可控制獨(dú)立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎(chǔ)上加裝了一個(gè)功率為60L/秒的渦輪增壓泵,能夠獲得更高更潔凈的真空。

性能特征:
  • 全自動(dòng)控制
  • 低能冷卻系統(tǒng)((功率是6W)
  • 低電壓濺射(100V,DC;每分鐘溫度升高不到2°C)
  • 鍍膜厚度精確(2nm金粒)
  • 精確的可重復(fù)性
  • 鍍膜厚度20nm或200A(掃描電鏡)
  • 微電子控制
  • 三個(gè)靶臺(tái)同時(shí)濺射
  • 聚碳酸脂安全外殼
 
儀器參數(shù):
 

儀器尺寸:
450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)
工作腔室
硼硅酸鹽玻璃: 225mm(Dia.) x 125mm(H)
重量:
24Kg
靶臺(tái):
3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái):
155mm Dia. 距離靶臺(tái)40 to 50mm可調(diào)
真空范圍:
ATM ­1x10-2 mbar
鍍膜電流范圍:
0-100mA
鍍膜速率:
0-20nm/minute
濺射鍍膜時(shí)間:
0-4 minutes
電源:
230 volts 50Hz (zui大8 amp 包括泵)
維護(hù):
氬氣 ­ 通常 4 psi
真空泵(*)
整套真空泵軟管和油氣過濾器135L/Min

 
訂購信息:
 

貨號(hào)
產(chǎn)品名稱
規(guī)格
91020
EMS 650 Sputter Coater complete with Targets
(3) x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard
臺(tái)
91020T
EMS 650T Sputter Coater
臺(tái)
91025
Rotary Vacuum Pump

關(guān)鍵詞:電磁閥 真空泵 增壓泵

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