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EMS 150膜厚監(jiān)控儀

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產(chǎn)品型號(hào)EMS 150

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更新時(shí)間：2015-06-26 02:13:10瀏覽次數(shù)：616次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。

詳細(xì)介紹

EMS 150 膜厚監(jiān)控儀（Film Thickness Monitor）和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用，以便對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。

石英是離子型的晶體，當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱為壓電，這是因?yàn)槠浣Y(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層后，芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過(guò)測(cè)量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。

膜厚監(jiān)控儀（FTM）是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動(dòng)，測(cè)試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。

儀器參數(shù)：

儀器尺寸	300mm （W） x 150mm （D） x 75mm （H）
重量	6Kg
可配套儀器	EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座	置晶片裝置
密度范圍	1.55 to 23.0g/cm^-3
測(cè)控范圍	5 to 999nm
鍍碳時(shí)精度	0.8nm
鍍金時(shí)精度	0.1nm
電源	230V 50 Hz （3 Amp Max）

訂購(gòu)信息：

貨號(hào)	產(chǎn)品名稱	規(guī)格
91006	EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.	臺(tái)
91006-M	EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module	臺(tái)
91008	Spare Crystals	盒
91009	Spare Glass Cylinder	個(gè)