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超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例

時(shí)間:2024/7/14閱讀:605
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超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例

氮封裝置主要用于儲(chǔ)罐頂部氮?dú)鈮毫愣刂?,以保護(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲(chǔ)罐安全。 氮封裝置由ZZYP快速泄放閥及ZZV微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及ZMQ-16K型單座切斷閥組成。超純水氮封水箱是一種用于儲(chǔ)存超純水的設(shè)備,其運(yùn)行原理涉及到氮?dú)夥忾]系統(tǒng)和超純水的特性。當(dāng)水箱上游水泵開啟,向超純水水箱補(bǔ)水時(shí),水箱水位上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時(shí),泄氮裝置打開,向外界釋放氮?dú)?,使罐?nèi)壓力下降,當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),泄氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。

當(dāng)水箱后級(jí)水泵開啟,用戶端開始用水時(shí),液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)壓力降低,供氮裝置開啟,向儲(chǔ)罐注入氮?dú)猓构迌?nèi)壓力上升,當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。

氮封閥0019.jpg

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例

1.供氮裝置工作原理:
供氮裝置結(jié)構(gòu)如圖所示,將設(shè)在罐頂?shù)娜狐c(diǎn)的介質(zhì)經(jīng)導(dǎo)壓管引入檢測(cè)機(jī)構(gòu)(7)、介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與彈簧(8)、預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低至低于供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),平衡被破壞,使指揮器閥芯(6)打開,從而使閥前氣體經(jīng)減壓閥(5)、節(jié)流閥(4)、進(jìn)入主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)上、下膜室,打主開閥閥芯(2)、向罐內(nèi)充注氮?dú)?;?dāng)罐內(nèi)壓力升至供氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),由于預(yù)設(shè)彈簧力,關(guān)閉指揮器閥芯(6)又由于主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)中彈簧作用,關(guān)閉主閥,停止供氮。
2.泄氮裝置工作原理:
泄氮裝置結(jié)構(gòu)如右圖所示,該裝置采用內(nèi)反饋結(jié)構(gòu),介質(zhì)直接經(jīng)閥蓋進(jìn)入檢測(cè)機(jī)構(gòu)(2),介質(zhì)在檢測(cè)元件上產(chǎn)生一個(gè)作用力與預(yù)設(shè)彈簧(3)預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高至高于泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),平衡被破壞,使閥芯(1)上移,打開閥門,向外界泄放氮?dú)?;?dāng)罐內(nèi)壓力降至泄氮裝置壓力設(shè)定點(diǎn)時(shí),由于預(yù)設(shè)彈簧力作用,關(guān)閉閥門。
超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例一般供氮?dú)鈮毫υ?×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用,是在主閥失靈,導(dǎo)致罐內(nèi)壓力過高或過低時(shí),起到安全作用,在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂,口徑一般與進(jìn)液閥口徑一致,一般泄氮閥的壓力設(shè)定點(diǎn)略大于供氮閥的壓力設(shè)定點(diǎn),以免供、泄氮裝置頻繁工作,浪費(fèi)氮?dú)?、影響設(shè)備的使用壽命。
在超純水系統(tǒng)中,超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進(jìn)行,即從水箱上部氣體空間引出單獨(dú)的管道,末端浸入水槽液面中,液面高度根據(jù)水箱上部氣體空間允許的最大正壓確定,也可以實(shí)現(xiàn)泄氮功能且比較經(jīng)濟(jì)。
1. 氮?dú)夥忾]系統(tǒng):超純水氮封水箱內(nèi)部通常充滿高純度的氮?dú)?,氮?dú)獾闹饕饔檬欠乐箍諝庵械碾s質(zhì)進(jìn)入水箱,從而保持水的純度。氮?dú)夥忾]系統(tǒng)通過一定的壓力控制,使得氮?dú)饽軌蛴行У馗綦x外界空氣,防止水中溶解氧、二氧化碳等氣體的溶解和氧化反應(yīng),從而保持水的超純度。
2. 超純水的特性:超純水是經(jīng)過多重凈化處理的水,其純度高達(dá)ppb(億分之一)級(jí)別,通常用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、生物科學(xué)實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。超純水對(duì)雜質(zhì)非常敏感,即使微量的雜質(zhì)也會(huì)影響其純度和性能。

氮封裝置主要用于儲(chǔ)罐頂部氮?dú)鈮毫愣刂?,以保護(hù)罐內(nèi)物料不被氮化及儲(chǔ)罐安全。
氮封裝置由ZZYP快速泄放閥及ZZV微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及ZMQ-16K型單座切斷閥組成。
儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí),開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場(chǎng)壓力較高,必須安裝ZZYP型壓力調(diào)節(jié)閥將壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設(shè)定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質(zhì)溫度溫度≤80℃。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥28.jpg

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例自力式氮封閥產(chǎn)品特點(diǎn):

氮封裝置的供(泄)氮壓力設(shè)定方便,且可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行;
氮?dú)鈮毫υO(shè)定范圍廣,低至0.5Kpa(50mm.w.c),高至Kpa,比值達(dá)132倍,壓力檢測(cè)膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小,動(dòng)作極靈敏。
調(diào)整:
供氮壓力調(diào)整:在ZZV型微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值如1Kpa(100mm.w.c),通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺絲2以改變彈簧3的預(yù)壓縮(拉伸)量來達(dá)到;
泄氮壓力調(diào)整:在ZZDQ快速泄放閥在的壓力控制器部分,通過調(diào)整座3,改變彈簧4預(yù)壓縮量達(dá)到。一般為避免氮封裝置啟閉頻繁,泄氮設(shè)定值應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如2Kpa(200mm.w.c).
呼吸閥高定值調(diào)整:在上述兩設(shè)定值調(diào)整好后,為避免呼吸閥啟閉頻繁,呼吸閥設(shè)定值應(yīng)大于泄壓設(shè)定值。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥48.jpg

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例

序號(hào)

 

型 號(hào) 及 規(guī) 格

單位

數(shù)量

1

氮封閥

氮封閥ZZYVP-II DN15 PN16

進(jìn)口壓力 0.3-0.6 MPA,

出口壓力1 KPA

對(duì)角螺絲孔中心距85MM

4個(gè)螺絲孔,螺絲孔大小14MM

臺(tái)

2

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例自力式氮封閥零件材料:

零 件 名稱

材料

閥體

ZG230-450 ZG1Cr18i9Ti

閥桿、閥芯、閥座

1Cr18i9Ti

膜片

丁腈橡膠夾增強(qiáng)絳綸織物

彈簧

60Si2Mn

波紋管

1Cr18i9Ti

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù):

公稱通徑DN(mm)

20

25

32

40

50

65

80

100

額定流量系數(shù)(KV)

8

11

20

32

50

80

100

160

額定行程(mm)

6

8

10

15

20

公稱壓力PN(Mpa)

0.10

壓力調(diào)節(jié)范圍(KPa)

0.5∽5.5、5∽10、9∽14、13∽19、18∽24、23∽28
27∽33、31∽38、36∽44、42∽51、49∽58、56∽66

介質(zhì)溫度(℃ )

≤80℃

調(diào)節(jié)精度(%)

±10

允許泄漏量(L/h)

10ˉ4×閥額定容量

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例規(guī)格重量、外形尺寸:

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥44.jpg

公稱通徑DN

20

25

32

40

50

65

80

100

A

192

232

308

H

629

631

652

666

689

797

837

1050

L

150

160

180

200

230

290

310

350

G(Kg)

18

19

21

23

25

37

50

59

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例法蘭規(guī)格 單位:mm

公稱通徑DN

20

25

32

40

50

65

80

100

D

105

115

140

150

165

185

200

220

D1

75

85

100

110

125

145

160

180

B

16

18

20

22

n-ф

4-14

4-18

8-18

f1×D2

2×56

3×65

3×76

3×84

3×99

3×118

3×132

3×156

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例安裝事項(xiàng):

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥27.jpg

(1)安裝前,檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng),對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗,介質(zhì)流向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。
(2)為便于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)與操作,閥四周應(yīng)留有適當(dāng)空間與設(shè)置旁路手動(dòng)閥,閥組安裝方案。
(3)閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法塵連接,要注意同軸度,并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過-25~55℃的場(chǎng)合使用

超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例安裝、維護(hù)與調(diào)試

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥堵塞29.jpg

1、超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例安裝(見圖三)

(1) 檢查整機(jī)零件是否缺損與松動(dòng),對(duì)使用有害人體健康的介質(zhì),必須進(jìn)行強(qiáng)度、密封、泄漏與精度測(cè)試。

(2) 在安裝前,對(duì)管道進(jìn)行清洗(否則由于焊渣等管道垃圾,損壞閥芯密封面,導(dǎo)致閥門不能正常工作),閥門入口處要有足夠的直管段,并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接,要注意同軸度。

(3) 安裝場(chǎng)地應(yīng)考慮到人員與設(shè)備的安全,即便于操作,又有利于拆裝與維修。

(4) 閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,導(dǎo)壓管必須安裝在距離閥出口至少六倍于公稱通徑的閥后管道上。閥自重較大與有振動(dòng)的場(chǎng)合,要用支撐架,盡量避免水平安裝。

(5) 介質(zhì)流動(dòng)方向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。因微壓閥屬于精密儀表,其中指揮器膜片直接承受介質(zhì)壓力,若閥門反裝或管道有反沖壓力,則指揮器膜片由于受壓過高導(dǎo)致膜片損壞,閥門不能工作。閥門應(yīng)在環(huán)境溫度-25~+55℃場(chǎng)所使用。

(6) 為使自控系統(tǒng)失靈或檢修閥門時(shí),仍能連續(xù)生產(chǎn),應(yīng)設(shè)置旁路閥(見圖三)。


ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥049.jpg

1、 超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例維護(hù):

(1) 清洗閥門:對(duì)清洗一般介質(zhì),只要用水洗凈就可以。但對(duì)清洗有害健康的介質(zhì),首先要了解其性質(zhì),在選用相應(yīng)的清洗辦法。

(2) 閥門的拆卸:將外露表面生銹的零件先除銹,但在除銹前,要保護(hù)好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時(shí)應(yīng)使用專用工具。

(3) 閥芯、閥座:二密封面有較小的銹斑與磨損,可用機(jī)械加工的方法進(jìn)行修理,如損壞嚴(yán)重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面,都必須進(jìn)行研磨。

(4) 閥桿:表面損壞,必須換新。

(5) 壓縮彈簧:如有裂紋等影響強(qiáng)度的缺陷,必須換新。

(6) 易損零件:填料、密封墊片與O型圈,每次檢修時(shí),全部換新。膜片必須檢查是否有預(yù)示將來可能發(fā)生裂紋、老化與腐蝕等痕跡,根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果,決定是否更換,但膜片使用期一般最多2~3年。

(7) 閥門組裝要注意對(duì)中,螺栓要在對(duì)角線上擰緊,滑動(dòng)部分要加潤(rùn)滑油。組裝后應(yīng)按產(chǎn)品出廠測(cè)試項(xiàng)目與方法調(diào)試,并在這期間,可更準(zhǔn)確地調(diào)整填料壓緊力與閥芯關(guān)閉位置。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥49.jpg

2、超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例 調(diào)試

所需要壓力值是通過對(duì)指揮器頂部的調(diào)節(jié)螺母的操作而得到調(diào)整,打開頂部的防塵蓋,用扳手調(diào)整調(diào)節(jié)螺母。順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)使壓力增大,逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)則壓力減小。安裝在壓力調(diào)節(jié)閥后的壓力表,可使工作人員借以觀察調(diào)整后的壓力給定值。

五、超純水儲(chǔ)罐自力式氮封閥應(yīng)用案例型號(hào)編制說明

氮封閥裝置系統(tǒng)圖.jpg

整機(jī)作用方式:B 閥后式

公稱壓力:16(1.6MPa)  

閥結(jié)構(gòu)形式補(bǔ)充:P  單座

指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥42.jpg

因此,超純水氮封水箱的運(yùn)行原理可以總結(jié)為:通過氮?dú)夥忾]系統(tǒng),有效隔離外界空氣,防止雜質(zhì)進(jìn)入水箱,從而保持超純水的純度和穩(wěn)定性。這種設(shè)計(jì)能夠確保超純水在儲(chǔ)存和輸送過程中不受到污染,滿足高純度水的使用要求。

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