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蘇州芯矽電子科技有限公司


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晶圓濕法清洗機 芯矽科技

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參   考   價: 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式:芯矽電子查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-07-08 16:48:08瀏覽次數(shù):28次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:66條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:芯矽電子 (客服)

產(chǎn)品簡介
槽數(shù) 其他 超聲清洗頻率 定制
工作方式 定制 功率 定制
加工定制 類型 一體式
清洗溫度 定制℃ 適用領(lǐng)域 電子行業(yè)
外形尺寸 定制cm 用途 工業(yè)用

晶圓濕法清洗機是半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備。它利用化學(xué)試劑和濕法工藝,通過噴淋、浸泡等方式,精準(zhǔn)去除晶圓表面雜質(zhì)、微粒及殘留物。能高效處理各類污垢,確保晶圓表面潔凈度達(dá)高標(biāo)準(zhǔn),為后續(xù)制程奠基。其具備精確的工藝控制,可調(diào)節(jié)清洗參數(shù),適應(yīng)不同尺寸晶圓。且設(shè)計注重防腐與潔凈,保障清洗過程穩(wěn)定可靠,提升芯片生產(chǎn)良品率,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中地位舉足輕重。

詳細(xì)介紹

晶圓濕法清洗機在半導(dǎo)體制造流程中扮演著極為關(guān)鍵的角色。它主要依據(jù)化學(xué)原理,利用各類酸性、堿性或中性化學(xué)試劑與晶圓表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)清洗目的。

其工作流程嚴(yán)謹(jǐn)且精細(xì)。首先,將晶圓放入清洗機腔室,通過噴淋系統(tǒng)均勻噴灑特定的化學(xué)清洗液,溶解晶圓表面的有機雜質(zhì)、金屬離子等。例如,使用硫酸 - 過氧化氫混合液可有效去除有機物,能去除金屬污染。接著,可能會有浸泡環(huán)節(jié),讓晶圓在清洗液中充分反應(yīng),確保頑固污漬被清除。之后,再用大量超純水進行沖洗,以去除殘留的化學(xué)試劑和反應(yīng)產(chǎn)物,防止二次污染。

該設(shè)備具備多種優(yōu)勢。一方面,它能精準(zhǔn)控制清洗參數(shù),如溫度、濃度、時間等,可根據(jù)不同晶圓的材質(zhì)、制程要求進行靈活調(diào)整,保證清洗效果的一致性和穩(wěn)定性。另一方面,其設(shè)計嚴(yán)格遵循潔凈標(biāo)準(zhǔn),采用耐腐蝕材料制造腔室和部件,防止清洗過程中引入新的雜質(zhì)。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,晶圓濕法清洗機能有效提升晶圓表面潔凈度,為后續(xù)的光刻、蝕刻、摻雜等工藝提供高質(zhì)量的基底,直接影響芯片的性能、良品率和可靠性,是推動半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的重要力量。

關(guān)鍵詞:芯片

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