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蘇州芯矽電子科技有限公司


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12寸槽式清洗設(shè)備 芯矽科技

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參   考   價(jià): ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：芯矽電子查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-07-08 16:27:39瀏覽次數(shù)：25次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：芯矽電子 （客服）

產(chǎn)品簡介
槽數(shù) 其他 超聲清洗頻率 定制
工作方式 定制 功率 定制
加工定制 是 類型 一體式
清洗溫度 定制℃ 適用領(lǐng)域 電子行業(yè)
外形尺寸 定制cm 用途 工業(yè)用

12寸槽式清洗設(shè)備是專為半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)的高效清洗解決方案，采用多槽分段式結(jié)構(gòu)，支持酸堿清洗、漂洗、干燥等全流程自動(dòng)化處理。設(shè)備兼容12英寸晶圓，可選配超聲波輔助清洗功能，深入清除表面顆粒、金屬污染及有機(jī)物殘留，確保納米級潔凈度。模塊化設(shè)計(jì)靈活適配不同工藝需求，無卡匣裝載提升效率，清洗液循環(huán)系統(tǒng)節(jié)能環(huán)保。

詳細(xì)介紹

12寸槽式清洗設(shè)備是專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計(jì)的清洗設(shè)備，采用多槽分段式結(jié)構(gòu)，集成酸堿清洗、漂洗、干燥等全流程工藝，適用于去除12英寸晶圓表面的顆粒、金屬污染及有機(jī)物殘留。設(shè)備廣泛應(yīng)用于制程中的擴(kuò)散、蝕刻、光刻等工藝后的清洗需求，兼具高產(chǎn)能、高精度與低污染特點(diǎn)，是半導(dǎo)體制造產(chǎn)線的核心設(shè)備之一。

核心優(yōu)勢與特點(diǎn)

多槽分段式清洗結(jié)構(gòu)

設(shè)備采用多槽設(shè)計(jì)，每個(gè)槽體獨(dú)立控制，可實(shí)現(xiàn)酸堿清洗、有機(jī)溶劑清洗、漂洗、干燥等多道工藝步驟，確保晶圓表面污染物清除。

槽體材質(zhì)選用耐腐蝕性強(qiáng)的特種材料（如PFA、PTFE），避免清洗液腐蝕設(shè)備，延長使用壽命。

高效自動(dòng)化與智能化控制

集成PLC與觸摸屏操作系統(tǒng)，支持全自動(dòng)清洗流程，減少人工干預(yù)，提升生產(chǎn)效率和工藝穩(wěn)定性。

實(shí)時(shí)監(jiān)控清洗液狀態(tài)（如濃度、溫度、pH值），智能調(diào)整參數(shù)，確保清洗效果一致性。

高精度清洗能力

可選配超聲波輔助清洗功能，通過高頻振動(dòng)產(chǎn)生空化效應(yīng)，深入晶圓微小縫隙，清除頑固污垢，滿足納米級潔凈度要求。

高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng)，避免二次污染，確保晶圓表面顆粒去除率≥99.9%，金屬污染≤0.1nm。

廣泛兼容性與靈活性

專為12英寸晶圓設(shè)計(jì)，兼容多尺寸晶圓（如8寸、6寸），適應(yīng)不同產(chǎn)線需求。

無卡匣（Cassette-less）設(shè)計(jì)，直接處理晶圓，提升裝載效率與空間利用率，適合大批量生產(chǎn)。

節(jié)能環(huán)保與低成本運(yùn)營

清洗液循環(huán)利用系統(tǒng)，減少化學(xué)試劑消耗，降低廢液處理成本。

高效加熱與冷卻模塊，優(yōu)化能源使用，符合綠色制造標(biāo)準(zhǔn)。

安全可靠與易維護(hù)

配備緊急停機(jī)、漏電保護(hù)、氣體報(bào)警等安全功能，確保操作安全性。

關(guān)鍵部件模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)便捷，減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

關(guān)鍵詞：清洗設(shè)備

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