半導體自動清洗機芯矽科技

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所在地蘇州市

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更新時間：2025-06-24 14:35:06瀏覽次數：35次

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蘇州芯矽電子科技有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：71條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

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產品簡介

槽數	其他	超聲清洗頻率	定制
工作方式	定制	功率	定制
加工定制	是	類型	一體式
清洗溫度	定制℃	適用領域	電子行業(yè)
外形尺寸	定制cm	用途	工業(yè)用

半導體自動清洗機用于晶圓表面污染物、光刻膠、氧化物等的高效去除。通過化學腐蝕、超聲波震蕩、噴淋或刷洗等技術，結合自動化傳輸系統(tǒng)（如機械手或真空吸附臂），實現高精度、高均勻性的清洗。設備支持多槽聯動（如清洗-腐蝕-漂洗-干燥），配備溫控、過濾和數據追溯功能，確保良率與工藝穩(wěn)定性。廣泛應用于制程晶圓處理、光伏硅片清洗及科研實驗，是提升芯片質量的核心工藝環(huán)節(jié)。

詳細介紹

半導體自動清洗機是半導體制造中用于去除晶圓表面污染物（如顆粒、有機物、金屬離子等）的關鍵設備，直接影響芯片良率與性能。其技術發(fā)展與工藝需求緊密關聯，以下是其核心特點與技術解析：

一、核心功能與技術原理

清洗方式

濕法清洗（主流）：通過化學溶液（如SC-1、SC-2配方）溶解或氧化污染物，結合噴淋、超聲波、兆聲波（SAP）等物理手段增強效果。

干法清洗：利用等離子體、激光或紫外線去除有機物或活化表面，適用于精密結構（如3D NAND、封裝前處理）。

關鍵技術模塊

單片式處理：逐片清洗避免交叉污染，支持14nm以下制程，流體分布均勻性達±0.1μm級。

多槽聯動系統(tǒng)：預清洗→主清洗→漂洗→干燥全流程自動化，部分機型集成12個以上工藝槽。

干燥技術：采用Marangoni效應干燥或IPA蒸干，避免水痕殘留，表面含水量低于5個分子層。

污染控制

兆聲波（SAP）：高頻聲波剝離納米顆粒，減少機械損傷。