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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州芯矽電子科技有限公司


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濕法腐蝕臺6寸 芯矽科技

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參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：芯矽電子查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-06-24 14:23:22瀏覽次數(shù)：29次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：芯矽電子 （客服）

產(chǎn)品簡介
槽數(shù) 其他 超聲清洗頻率 定制
工作方式 定制 功率 定制
加工定制 是 類型 一體式
清洗溫度 定制℃ 適用領域 電子行業(yè)
外形尺寸 定制cm 用途 工業(yè)用

?濕法腐蝕臺6寸是6英寸晶圓處理的關鍵設備，其技術迭代直接關聯(lián)產(chǎn)品良率與成本控制。未來，設備將向更高精度、智能化、環(huán)?；较虬l(fā)展，同時推動國產(chǎn)設備在特色工藝領域的滲透率提升。

詳細介紹

濕法腐蝕臺6寸是專為6英寸晶圓設計的濕法腐蝕處理設備，廣泛應用于半導體制造、科研實驗等領域。以下是其技術特點與核心解析：

一、核心功能與工藝原理

腐蝕工藝

化學腐蝕：通過酸性或堿性溶液（如H?O?/H?PO?、HF/HNO?等）對6英寸晶圓表面進行選擇性腐蝕，去除氧化層、殘留薄膜或污染物。

均勻性控制：采用旋轉(zhuǎn)噴淋（如10-100rpm可調(diào)）或超聲波輔助，確保腐蝕厚度一致性（CV值＜5%）。

溫度與時間調(diào)控：恒溫槽體（精度±0.5℃）結合可編程計時器，精確控制腐蝕速率。

關鍵應用

去除光刻膠殘留、氧化硅（SiO?）薄膜或金屬污染層。

制備特定表面粗糙度（如納米級紋理）或圖形化腐蝕（需掩膜配合）。

科研領域：半導體材料研究、微機電系統(tǒng)（MEMS）器件加工等。

二、設備結構與技術優(yōu)勢

模塊化設計

腐蝕槽：采用PFA、PTFE或石英材質(zhì)，耐強酸強堿腐蝕，支持單槽或多槽聯(lián)動（如清洗→腐蝕→漂洗）。

傳輸系統(tǒng)：機械手或真空吸附臂實現(xiàn)6英寸晶圓精準傳輸，定位精度±0.1mm，支持倒片功能。

干燥單元：熱氮烘干或IPA（異丙醇）甩干，防止水漬殘留。

技術亮點

均勻性保障：噴淋頭360°旋轉(zhuǎn)+晶圓自轉(zhuǎn)，解決邊緣腐蝕不均問題。

污染防控：槽體溢流設計+顆粒過濾器（0.1μm級），減少二次污染。

數(shù)據(jù)追溯：集成MES系統(tǒng)，記錄每片晶圓的腐蝕參數(shù)（時間、溫度、液流量等），支持良率分析。

三、選型要點

腐蝕精度：根據(jù)工藝需求選擇CV值（如＜3%或＜5%）。

產(chǎn)能匹配：單機每小時處理量（如40-80片/小時）需符合產(chǎn)線節(jié)拍。

維護成本：優(yōu)先選擇耗材（如密封圈、O型圈）易更換、廢液處理模塊集成度高的設備

關鍵詞：恒溫槽

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