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蘇州芯矽電子科技有限公司
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
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更新時間:2025-06-24 14:11:34瀏覽次數(shù):38次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線槽數(shù) | 其他 | 超聲清洗頻率 | 定制 |
---|---|---|---|
工作方式 | 定制 | 功率 | 定制 |
加工定制 | 是 | 類型 | 一體式 |
清洗溫度 | 定制℃ | 適用領(lǐng)域 | 電子行業(yè) |
外形尺寸 | 定制cm | 用途 | 工業(yè)用 |
全自動RCA清洗機是精密制造中的設(shè)備,其技術(shù)發(fā)展直接關(guān)聯(lián)產(chǎn)品良率與生產(chǎn)效率。未來,隨著半導(dǎo)體制程進步和環(huán)保要求趨嚴,設(shè)備將向更高精度、智能化、綠色化方向迭代。
全自動RCA清洗機是一種基于SC-1、SC-2等標準化學(xué)配方的自動化濕法清洗設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的精密部件清洗。以下是其核心特點與技術(shù)解析:
一、核心功能與原理
清洗原理
化學(xué)清洗:通過SC-1(NH?OH/H?O?/H?O)或SC-2(HCl/H?O?/H?O)等配方,去除工件表面的顆粒、有機物、金屬離子等污染物。
機械輔助:結(jié)合旋轉(zhuǎn)噴淋、超聲波震蕩、溢流沖洗等方式,增強化學(xué)反應(yīng)效果,確保清洗均勻性。
干燥技術(shù):采用熱氮烘干或甩干機(定制),實現(xiàn)“干進干出"流程,避免二次污染。
關(guān)鍵技術(shù)模塊
多工藝支持:可執(zhí)行RCA、IMEC、Pre-Diffusion等清洗工藝,兼容蝕刻、去膠等濕法工藝。
自動化控制:PLC系統(tǒng)集成多道配方,支持手動/自動模式切換,實時監(jiān)控溫度、流量、時間等參數(shù)。
高精度傳輸:機械手(如前置式)實現(xiàn)工件平穩(wěn)傳送,定位精度達±0.1mm,支持倒車功能。
二、設(shè)備組成與結(jié)構(gòu)設(shè)計
材質(zhì)選擇
耐腐蝕性:槽體采用石英、PTFE、PVDF、SUS 316等材質(zhì),殼體可選PVC/PP/SUS 304,適應(yīng)不同化學(xué)藥液。
密封與防護:機械手部分做防酸/堿/有機腐蝕處理,電氣區(qū)與管路隔離,避免交叉污染。
系統(tǒng)配置
清洗單元:噴淋臂、溢流槽(鋸齒形邊緣保持液體清潔)、循環(huán)泵、拋動機構(gòu)(提升接觸效率)。
溫控系統(tǒng):盤管冷卻(冰水循環(huán))確保槽內(nèi)溫度穩(wěn)定,誤差≤±1℃。
排風系統(tǒng):調(diào)風板+風腔設(shè)計,自動/手動風閥可選,防止水汽凝結(jié)。
三、應(yīng)用領(lǐng)域與優(yōu)勢
典型場景
半導(dǎo)體制造:清洗石英爐管、FOUP片盒、晶圓承載具等,提升芯片良率。
光學(xué)鍍膜:清潔光學(xué)元件表面,保障鍍膜附著力和透光性。
科研實驗:處理石英舟、反應(yīng)容器等,避免雜質(zhì)干擾實驗結(jié)果。
技術(shù)優(yōu)勢
高效穩(wěn)定:自動化流程減少人工干預(yù),清洗效率提升30%以上,合格率>99%。
均勻性保障:旋轉(zhuǎn)噴淋+自轉(zhuǎn)機構(gòu)(如槽內(nèi)轉(zhuǎn)動)解決死角問題,顆粒去除能力<0.1μm。
環(huán)保節(jié)能:化學(xué)液循環(huán)利用,熱氮烘干替代傳統(tǒng)烘箱,降低能耗與排放。
四、選購建議
關(guān)鍵指標
工藝兼容性:確認設(shè)備是否支持SC-1/SC-2配方及特殊工藝需求。
自動化水平:優(yōu)先選擇機械手傳輸+一鍵啟動功能,降低操作復(fù)雜度。
定制化服務(wù):根據(jù)工件尺寸(如2-12英寸晶圓)和產(chǎn)能需求(如單腔/多腔)定制機型。
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主營產(chǎn)品:專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程
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