激情综合啪啪6月丁香,久久久久国产精品91福利,99精品日韩欧美在线观看,91成人午夜福利在线观看国产

行業(yè)產品

  • 行業(yè)產品

蘇州芯矽電子科技有限公司


當前位置：蘇州芯矽電子科技有限公司>>槽式清洗機>>去蠟濕法清洗機

去蠟濕法清洗機

返回列表頁

參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地蘇州市

聯系方式：芯矽電子查看聯系方式

更新時間：2025-05-27 15:00:40瀏覽次數：41次

聯系我時，請告知來自 環(huán)保在線

經營模式：生產廠家

商鋪產品：38條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯系人：芯矽電子 （客服）

產品簡介
槽數 其他 超聲清洗頻率 定制
工作方式 定制 功率 定制
加工定制 是 類型 其他
清洗溫度 定制℃ 適用領域 電子行業(yè)
外形尺寸 定制cm 用途 工業(yè)用

去蠟濕法清洗機是半導體制造中用于高效去除晶圓表面蠟狀污染物（如光刻膠、助劑殘留）的關鍵設備，通過化學濕法與物理輔助技術結合實現精密清潔。其核心采用有機溶劑或酸堿配方溶解蠟層，并可選配兆聲波空化效應剝離頑固殘留，避免機械接觸損傷。設備支持單片或多片自動化處理（兼容4-12英寸晶圓），集成溫控系統（±0.1℃）、噴淋/浸泡模式及廢液回收裝置，確保清洗均勻性（±1.5%）與環(huán)保性。

詳細介紹

去蠟濕法清洗機是半導體制造中用于高效去除晶圓表面蠟狀污染物（如光刻膠、助劑殘留）的關鍵設備，通過化學濕法與物理輔助技術結合實現精密清潔。以下是對該產品的詳細介紹：

核心功能與技術特點

多模式清洗技術

化學濕法溶解：采用有機溶劑（如丙酮、IPA）或酸堿配方（如緩沖氧化物刻蝕液BOE）溶解蠟層，兼顧去除有機物、金屬污染及氧化膜。

物理輔助手段：集成兆聲波（MHz級高頻聲波）或超聲波空化效應，通過氣泡爆破釋放能量剝離頑固殘留，避免機械接觸損傷晶圓表面。

高精度控制與均勻性

溫控系統：支持±0.1℃溫度調節(jié)，確?；瘜W反應速率穩(wěn)定，避免局部過蝕或清洗不均13。

流體動力學設計：噴淋臂對稱分布，配合循環(huán)泵和勻流板，減少陰影效應，實現晶圓表面清潔度一致性（±1.5%）。

自動化與智能化

全自動傳輸：非接觸式機械臂或氣浮承載臺，兼容4-12英寸晶圓，支持單片或多片連續(xù)處理，提升產能。

AI參數優(yōu)化：根據污染物類型（顆粒、有機物、金屬）自動調節(jié)清洗時間、頻率及溶液濃度，生成SPC報告并支持MES系統對接。

環(huán)保與安全設計

廢液處理：封閉式循環(huán)系統實現化學液回收率＞90%，中和裝置符合環(huán)保標準，降低危廢成本。

安全防護：配備泄漏檢測、氮氣保護及緊急制動按鈕，防止化學品泄漏風險。

應用場景與優(yōu)勢

核心用途

光刻膠剝離后清洗、CMP后磨料去除、TSV硅通孔臨時鍵合劑殘留處理等場景，適用于SiC襯底片、MEMS器件及封裝工藝。

技術優(yōu)勢

高效清潔：顆粒去除率≥97%（≥0.06μm），金屬污染控制至＜0.01ppb，滿足3nm以下制程需求。

低損傷設計：兆聲波替代傳統刷洗，避免物理應力；模塊化槽體支持RCA、DHF等工藝擴展。

綠色節(jié)能：待機功耗＜1kW，超臨界CO?干燥技術替代IPA，減少碳足跡。

去蠟濕法清洗機通過化學溶解、物理空化及智能化控制，實現原子級潔凈度與高效生產，是制程（如3nm以下節(jié)點）的設備。未來趨勢包括AI驅動的參數優(yōu)化、無氟環(huán)保工藝及納米級清洗技術，持續(xù)提升良率與可持續(xù)性。

關鍵詞：循環(huán)泵

您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

環(huán)保在線 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.hg1112.cn,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責，環(huán)保在線對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=請輸驗證碼

收藏該商鋪

請 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復您~