全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)

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參考價(jià): ￥ 1000000

訂貨量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DL-SC150A

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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聯(lián)系方式：駱先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-27 14:24:46瀏覽次數(shù)：543次

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產(chǎn)品分類(lèi) 品牌分類(lèi)

  研磨機(jī)

全部產(chǎn)品列表

  其他品牌

深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生（運(yùn)營(yíng)）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1、電源供應(yīng)為三相380V。
2、環(huán)境要求;無(wú)易爆易燃和腐蝕氣體;26℃恒溫?zé)o塵車(chē)間:40-85%RH。
3、氣源使用壓力為0.5Mpa-0.8 Mpa，管徑010。
4、真空負(fù)壓為-80kpa--85kpa，管徑010。
5、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa，管徑 012。

詳細(xì)介紹

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工。

◎ 設(shè)備配有精密在線(xiàn)測(cè)量厚度儀單元和CCD視覺(jué)模組，加工時(shí)先測(cè)量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測(cè)量直徑，真圓度，直線(xiàn)邊到圓心尺寸，倒角邊尺寸。

◎ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿(mǎn)足各類(lèi)工藝需求。

◎ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺(jué)定位和測(cè)厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)。

◎ 全自動(dòng)上下料和不良品下料工位。可進(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。

◎ 配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性?？刂飘?huà)面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫(huà)面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。

性能參數(shù)

參數(shù)名稱(chēng)		單位	DL-SC150A	DL-SC200A
晶圓尺寸		in	兼容?4''/?6''	兼容?4''/?6''/?8''
研磨方式		-	晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑		mm	?205金剛石砂輪	?205金剛石砂輪
主軸	額定功率	KW	1	1
主軸	額定轉(zhuǎn)速范圍	RPM	500~3000	500~3000
Notch主軸	額定功率	KW	-	0.5
Notch主軸	額定轉(zhuǎn)速范圍	RPM	-	1000~60000
產(chǎn)品和研磨臺(tái)定位精度		um	±4	±4
厚度測(cè)量重復(fù)精度		um	±2	±2
磨削精度	直徑控制精度	um	15	15
	晶圓真圓度控制能力	um	＜10	＜10
	倒角面幅精度	um	＜20	＜20
	平邊/次平邊角度控制能力	度	±0.05	±0.05
設(shè)備尺寸（W x D x H）		mm	2000x1150x1950	2000x1150x1950
設(shè)備重量		KG	約1000	約1000