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Polyflora E/F 光化學過濾器

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更新時間：2025-07-06 15:10:10瀏覽次數：15次

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產品簡介

應用范圍廣可實現快速拆裝PolyfloraE系列光化學過濾器為一字型排布接口，F系列為三角形排布接口，搭配管路接頭均可實現快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、光抗蝕劑等光化學試劑，應用范圍廣泛

詳細介紹

應用范圍廣

可實現快速拆裝
Polyflora E 系列光化學過濾器為一字型排布接口，F 系列為三角形排布接口，搭配管路接頭均可實現快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、光抗蝕劑等光化學試劑，應用范圍廣泛。

 

 

產品特色
- 化學兼容性：顯影液、光抗蝕劑等光化學試劑
- 低析出：金屬離子、有機物、非揮發(fā)性殘留物物質低析出管控
- 超凈工藝：加強清洗技術減少顆粒脫落和微氣泡形成
- 靈活適配：多種膜材料（UPE、Nylon、PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選。

 


典型應用
- EUV、ArF、KrF 光刻膠
- 顯影液
- 溶劑類

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