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Lunaris CMP 一體式過濾器

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更新時間：2025-07-06 15:02:48瀏覽次數(shù)：12次

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產(chǎn)品簡介

有效攔截大顆粒，不改變原有顆粒分布專為半導(dǎo)體廠CMP工藝點位Slurry的過濾設(shè)計

詳細介紹

有效攔截大顆粒，不改變原有顆粒分布
專為半導(dǎo)體廠 CMP 工藝點位 Slurry 的過濾設(shè)計?？舍槍Σ煌?Slurry 成分以及客戶工藝差異點組合搭配合理的濾材，更科學(xué)的濾材搭配使得產(chǎn)品有效攔截大顆粒的同時不會改變原有 Slurry 的顆粒分布。

 

 

產(chǎn)品特色
- 更高的濾效與更長的濾芯壽命
- 濾芯搭配多樣化
- 拆裝便捷省時間

 


典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體 Slurry 過濾

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