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北京卓立漢光儀器有限公司
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北京卓立漢光儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)OPTM 系列
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式：市場(chǎng)部查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-04-12 12:29:07瀏覽次數(shù)：376次
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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠(chǎng)家
商鋪產(chǎn)品：400條
所在地區(qū)：北京北京市
聯(lián)系人：市場(chǎng)部
OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析?？赏ㄟ^(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量，并且搭載了即使是初次使用的用戶(hù)，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
| OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
| 波長(zhǎng)范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 測(cè)定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn) | ||
| 光斑大小 | 10μm (*小約5μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源規(guī)格 | 氘燈+鹵素?zé)? | 鹵素?zé)?/td> | |
| 電源規(guī)格 | AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格） | ||
| 尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分) | ||
| 重量 | 約 55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分） | ||
測(cè)量項(xiàng)目：
測(cè)量示例：SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量
半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。
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